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随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用。本文主要阐述了微机械加工技术在微传感器中的应用。
微机械加工技术在微传感器中的应用分析
【摘 要】
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随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用。本文主要阐述
【机 构】
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贵州电子信息职业技术学院;
【出 处】
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中国设备工程
【发表日期】
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0年期
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