【摘 要】
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微电子机械系统(Micro Electro Mechanical systems,简称MEMS)技术是建立在微米纳米技术基础上的21世纪前沿技术.它用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,制造出各种性
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微电子机械系统(Micro Electro Mechanical systems,简称MEMS)技术是建立在微米纳米技术基础上的21世纪前沿技术.它用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统.本文首先介绍MEMS工艺与传统机械加工工艺的区别,阐明只有MEMS工艺才能满足制作微传感器的要求,而传统机械加工已无能为力;其次介绍目前比较成熟的和发展中的MEMS工艺;最后介绍基于MEMS技术的成熟微传感器的原理和应用情况.基于MEMS的微传感器具有十分广阔的应用前景,应该引起科研结构相关政府部门的足够重视.
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