谐振式微小型压力传感器数字闭环系统

来源 :北京航空航天大学学报 | 被引量 : 8次 | 上传用户：PM123nx

【摘要】

：

在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测、闭环自激电路的小型化和抗干扰等问题十分突出.复合音叉微小型谐振式压力传感器数字锁相环闭环检测系统将输入的模拟信号(压力)直接转换为准数字量(频率),测量精度高,基本上解决了测量系统中结构参数小、工作频率高、信号幅度弱、耦合强、干扰大等问题,该方法可直接应用于硅谐振式微传感器,对实现硅谐振微传感器的工程化具有指导意义.

【作者】

：

周浩敏赵巧转汤章阳

【机构】

：

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院

【出处】

：

北京航空航天大学学报

【发表日期】

：

2006年11期

【关键词】

：

微传感器锁相环数字信号处理器 microsensors phase locked loops digital signal processor（DS

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