电容式压力传感器相关论文
传统的电容式压力传感器通常由硬质材料制成,在具有不规则表面的人体表面、机器人表面等难以进行信息的采集和传递。柔性电容式压......
SiC作为第三代宽禁带半导体材料，具有耐高温、高频和抗辐射等优点，是制作耐高温器件的最佳选择之一。因此，为了实现在高温恶劣环境下......
本文利用新型陶瓷技术、集成电路技术和厚膜平面安装电路技术，采用零力学滞后的陶瓷和陶瓷密封材料进行设计制造了一种非充液干式的......
基于碳纳米材料的不断发展,柔性压力传感器得到了优化,并在诸多领域中得到了应用.对此,笔者将简单阐述碳纳米材料在柔性期间中应用......
【摘 要】电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。直接接触或接近被测......
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器.以圆形c面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和......
在MEMS电容式压力传感器的设计研发阶段,需要对传感器样品进行测试,从而为设计参数的优化提供数据支持。因此,需要设计一套传感器......
大多数MEMS器件（如梁、膜等）的动态特性方程为偏微分方程，因此建立对应组件的可重用参数化行为模型是一个难题．本文通过有限差分法把偏......
信号处理与气密封装是电容式压力传感器设计的主要难题．本文提出一种新型的绝对压力传感器结构，利用倒装技术在基片上制作电路和柱状......
提出了一种新型电容式压力传感器。在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化。同......
论述了利用函数链人工神经网络(FLANN)对电容式压力传感器的非线性和温度影响进行校正和补偿的方法,并利用计算机对FLANN的性能进......
将支持向量机(SVM)引入传感器建模研究中,这里,SVM作为校正误差的一个逆模型.SVM有效地解决了小样本学习问题,因此,该方法对试验数......
提出了一种基于低温共烧陶瓷（LTCC）的无线电容式压力传感器,并具体讨论了传感器的设计、制作以及测试。与传统的LTCC工艺所不同的是,......
新型柔性压力传感器具有类似人体皮肤的可拉伸性以及对外力的感知特性,可被用于仿生电子皮肤及各种可穿戴电子设备,近年来引起了学......
提出了一种新的电容式压力传感器，传感器结构为由Al／SiO2／n—type Si等三层方形膜构成的固态电容．传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键......
获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤．首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器......
由于硅材料的性能限制,硅基压力传感器无法正常工作在大于120℃的高温环境,然而SiC电容式压力传感器具有灵敏度高、温度性稳定和鲁......
以14 K展宽碳纤维为原料,采用单层碳纤维平行排布、10 mm间隔的双层碳纤维垂直分布的空间模式,利用高透明水晶滴胶A、B胶复合双层......
采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器，重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压......
近些年,柔性压力传感器的应用受到越来越多人的关注。因为柔性压力传感器具有良好的柔弹性,使得传感器可以贴附于人体皮肤表面以及......
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利用绝缘体上硅(SOI)技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统(MEMS)电容式压力传......
改变传感器可动极板的结构是解决MEMS电容式压力传感器信号输出与压力输入呈非线性关系问题的方法之一。设计了一种新型结构电容式......
设计并制备了由黑磷烯/氧化石墨烯双层材料为介质层的电容式柔性压力传感器,该传感器结构以ITO为电容上下极板,PET为柔性基底,并对......
电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用，但硅杯开头对传感器的灵敏度影响较大，本文提出了一种新的硅杯开头，并通过分......
电容式压力传感器因其灵敏度高、温阻效应低以及工作稳定性好,广泛应用于工业自动化检测与监控场所。随着工作环境的日益复杂及恶......
本文分析了圆形和方形硅杯的应力膜片在均匀压力下的弯曲,进而得到了电容式传感器的电容与压力的关系,指出当电极的半径与硅应力膜......
硅微机械加工压力传感器是MEMS的重要研究领域之一,在汽车系统、工业控制、环境监控和测量以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的......
<正> 在医用注射泵中,输液状态的自动监测是确保其正常工作的前提条件。所谓输液状态是指输液管内药液流动的状态,当出现异常状态(......
透明的具有弹性的压力传感器件作为基础的电子元件和光电子元件在人机交互系统和机器人探测传感系统中具有广泛的潜在应用，从而受到......
论述了利用最小二乘法和牛顿插值法对电容式压力传感器的非线性和温度影响进行校正和补偿的方法。对电容式压力传感器信号存在非线......
针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSY......
鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高......
基于近年来军用民用/行业对高温环境下的压力信号获取的需求日益增大，而传统的压力传感器在高温环境应用场合表现出了非常大的局限......
传感器是获取信息的主要元件。多层膜结构的电容式压力传感器具有高灵敏度，良好的稳定性，以及低温度系数等优点，近年来得到了极大关注......
近年来,柔性可穿戴电子设备成为了研究的热点,由于其具有质轻、柔性、可拉伸性和便携等优点,被广泛应用于许多领域,如医疗健康监测......
随着信息社会的发展,物联网技术的不断进步,人们对周边环境信息的采集深度与广度不断提升,微型柔性压力传感器作为一类十分重要的......
本发明提供了一种柔性电容式压力传感器,包括上、下电极,夹设于上下电极之间的复合电介质层,其中,复介电介质层包括与上电极连接的......
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面（0001）取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和......
