硅膜片相关论文
该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模......
半导体激光器的发明，推动了将受光元件、发光元件、光波导和微透镜系统等集成于同一衬底上的光集成组合元件的研究。目前，正在进行着......
主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨....
本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题，提出采用化学腐蚀技术，选择性腐蚀工艺......
本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证 ,证明这......
静电既有危害,也能应用。本文介绍了静电封接在压力传感器生产中的应用,分析了原理,介绍了土艺、制备和新的封接方法,对提高产品质......
前言 近十年来,国内半导体压阻传感器的研制和生产获得迅速发展,这是由于它具有灵敏度高,频率响应快,体积小,性能稳定、可靠,寿命......
本文分析了圆形和方形硅杯的应力膜片在均匀压力下的弯曲,进而得到了电容式传感器的电容与压力的关系,指出当电极的半径与硅应力膜......
<正>汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展,而起核心作用的元件是传感器。MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子中,如TPMS压力......
医用硅微型压力传感器谢国章一、引言微机械最早和最成功的应用是医用微型压力传感器．这种传感器的尺寸一般在１ｍｍ以下，体积微小到可用吞......
<正> 在医用注射泵中,输液状态的自动监测是确保其正常工作的前提条件。所谓输液状态是指输液管内药液流动的状态,当出现异常状态(......
＠李令举￥西安公路交通大学＠雷愿回￥深圳市东华房地产开发公司（续前）为了判定发动机的热状态，计算进气空气的质量流量以及排气净化处理，需要......
扩散硅压阻传感器是七十年代出现的新型检测仪表。本文描述了该传感器的特性、原理、硅压敏膜片的设计理论。同时介绍了传感器的压......
