【摘 要】
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提出了一种新的电容式压力传感器，传感器结构为由Al／SiO2／n—type Si等三层方形膜构成的固态电容．传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造，制造过程仅需三块掩模板．对不同
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目资助（批准号：90607002）
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提出了一种新的电容式压力传感器，传感器结构为由Al／SiO2／n—type Si等三层方形膜构成的固态电容．传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造，制造过程仅需三块掩模板．对不同边长传感器进行测试，在410～1010hPa的动态范围，边长为1000，1200和1400μm的压力传感器，相应灵敏度分别为1．8，2．3和3．6fF／hPa．边长为1500μm的传感器，其灵敏度为4．6fF／hPa，全程非线性度为6．4％，最大滞回误差为3．6％．分析结果表明介电常数变化是引起电容变化的主要原因．
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