微机械相关论文
现有发展和研究的微机械陀螺仪可分为线振动和环振动两类,前者具有大哥氏敏感质量占比、驱/检模态运动易解耦的高灵敏特点,而后者......
自然杂志授予了一项新的“本世纪的技术”它被称为“芯片实验室”,微流控芯片就是其中之一,自然杂志文章中从多方面的阐述了微纳流......
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中......
基于迈克耳孙干涉仪原理,设计了利用双光束干涉效应的微机械光纤信号调制器。实验中从输入端输入的光纤信号,经分光板后分为光强相......
激光驱动微纳器件为微机械领域中驱动微齿轮提供了一种新型的驱动方式。偏振光束的自旋角动量向晶体微粒传递可使其旋转,基于晶体......
新型热像仪是一种基于微机械技术的光调制热成像系统,它采用光调制原理来实现像转换和像增强,其核心是一个采用与互补型金属氧化物......
随着应用科学的发展,对板、梁等基础结构的研究已进入微观层面。以往的研究当中,在微机械构件的静态形变、边值条件分析、振动特性......
表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计，包括设计、......
:您曾致力于高精度渐开线齿轮和样板研究,其理论成果获中科院自然科学三等奖;实际应用中,一种靠模样板可用于磨制出1级精度齿形,此......
本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。结果表明:KOH溶液非常适用于该技术;当几片硅同时进行电化学腐蚀时不会......
详细论述了一种基于微机械传感器与AT89C2 0 51单片机的智能振动传感器。该传感器可对机械振动信号进行测量、简单分析和超限报警 ......
介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。基于波导传输理......
电场活化聚合物是电子型电活性聚合物中的一类膜状的绝缘塑料，其富有弹性、重量轻、驱动效率高、抗振动性能好，类似动物的肌肉诸多特......
微机电系统技术的发展,给科学研究和工业应用带来新的研究领域,在信息通信领域的应用目前主要是微光开关等通信器件.该文针对一种......
本文研究的是基于应变梯度理论的微机械压电超声换能器压电薄膜的静态应变。压电超声换能器是目前应用很广泛的一种换能器,例如医......
本论文提出一种1×2扭转竖直微镜光开关，微镜采用(110)硅腐蚀制备而成，执行器采用变间隙的电容驱动器，光耦合采用球透镜进行，并制作1×......
文中介绍以Ｎ型单晶硅为基底，利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。
This paper introdu......
为了在二维微驱动系统中实时检出移动块的存在位置,试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列,它作为一种位置传感器通过扫描查询......
现在的科研工作，五花八门，异彩纷呈。 在大众眼球的睽睽注视下，继IT产业研究之后，纳米技术、微机械、干细胞、生物工程制药、转基因......
本文讨论一种扭摆式微机械加速度计.介绍其敏感元件的结构,振动模态和数学模型,说明了集成电容检测电路的原理,并对该电路进行了具......
在亨利慕时的世界里，运用最传统的手工工艺来制作每一枚腕表，代表的绝不是保守，而恰恰代表了经典高雅、无与伦比、无比珍贵。而亨利慕......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
研制了一种工作在 1 5 5 0nm波长范围内的单模光纤微机械可调式光衰减器。该衰减器利用非硅表面微加工工艺 (这种工艺采用光致抗蚀......
简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
Briefly introduce nano-metrology techniques for the M......
基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 ,同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题
Based on the techn......
介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气......
本文报导了一种解决氧化锡气体敏感膜龟裂问题的有效方法.实验中发现,溅射形成的氧化锡薄膜在高温处理后或在长时间的高温工作中会......
介绍了一种新型的隔离放大电路,采用微机械开关实现“飞电容”结构。这种隔离放大电路具有许多优点:电路结构简单、尺寸小、成本低......
扭摆式微机械加速度计是近年来才开始发展的一种新型加速度计。介绍了这种新型加速度计的机械结构、工作原理，根据其测试特点，对其关......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
在电容检测中 ,交流电压驱动常常是测量电容变化的必要手段 .驱动电压引起作用于可动电极上的静电力 ,从而影响到可动电极的运动 .......
为了推动微加工和微机械技术的进步,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要.可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量......
针对金刚石薄膜用于微电子器件和微机械器件的共性关键技术问题 ,总结了近年来这些方面的研究成果 ,包括 :用交流 直流负偏压微波......
运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构———蟹脚型结构的振动特性 ,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式 ,分析了各几何参......
静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常见的结构———直脚型结构的振动特性 ,提出了计算结......
本项目针对我国MEMS走向产业化遇到的规模制造能力薄弱的瓶颈问题,通过产学研用结合的方式,开展多物理场作用下的微机械结构应力、......
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜.使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力.残余应力......
对一种双稳态微机械电磁继电器的闭合碰撞特性进行动力学分析,根据该继电器机械系统的特点建立了碰撞模型,分析了继电器碰撞时间,......
硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广......
针对电流变柔性微致动器所用的驱动电源,在理论上探讨了采用交流或直流供电方式的特点,并以此为基础设计了驱动电源的电路结构,然......
