【摘 要】
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许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜.使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力.残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度.文中提出的纹
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许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜.使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力.残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度.文中提出的纹膜结构,可在不改变工艺条件的前提下,显著地降低残余应力的不良影响,大幅度增加膜的灵敏度.理论分析的结果表明,纹膜几何参数的设计是提高灵敏度的
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