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期刊论文
扭摆式微机械加速度计的系统研究
扭摆式微机械加速度计的系统研究
来源 :测控技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gklyliu
【摘 要】
:
扭摆式微机械加速度计是近年来才开始发展的一种新型加速度计。介绍了这种新型加速度计的机械结构、工作原理,根据其测试特点,对其关键部分进行了探讨。在此基础上,对整个加速度计系统的误差来源进行了分析。
【作 者】
:
黄胜华
柯尊友
周百令
王寿荣
【机 构】
:
东南大学仪器科学与工程系!210096,东南大学仪器科学与工程系!210096,东南大学仪器科学与工程系!210096,东南大学仪器科学与工程系!210096
【出 处】
:
测控技术
【发表日期】
:
1999年03期
【关键词】
:
加速度计
微机械
弱信号检测
小电容测量
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扭摆式微机械加速度计是近年来才开始发展的一种新型加速度计。介绍了这种新型加速度计的机械结构、工作原理,根据其测试特点,对其关键部分进行了探讨。在此基础上,对整个加速度计系统的误差来源进行了分析。
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