MEMS工艺相关论文
随着物联网和微电子技术的飞速发展,MEMS技术在与传统传感器行业紧密结合,MEMS传感器将是传感器的必然趋势,国家也高度重视MEMS传......
随着无线通讯技术在毫米波和太赫兹频段的快速发展与应用,对功率器件的输出需求也越来越大,单个的功率放大芯片难以满足大功率输出......
太赫兹技术作为最为瞩目的前沿技术之一,在国防、航天、医学、通信、食品、环境等领域具有广阔的应用前景。作为太赫兹系统的核心......
在喷墨打印技术中,压电喷墨打印技术凭借良好的液体兼容性、较高的工作频率和分辨率、较长的工作寿命和较低的工艺成本,不仅在图文......
透射电子显微镜利用电子束与样品相互作用成像,可提供原子分辨率的结构和成分信息、原子尺度的空间结构和化学成分等信息,是研究材......
小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术，它是随着MEMS技......
随着能源的日益紧张,能量收集技术备受关注,而微型传感器的发展使得能量收集器被广泛研究。其应用领域也呈现多样化,包括监测传感......
气体传感器阵列不仅能弥补单一气体传感器选择性差的缺点，还可以充分利用其交叉敏感性，并结合一定的模式识别技术，实现传感器的高精度......
学位
随着微惯性测量系统应用的日趋广泛,微小型化是微惯性测量系统发展的重要方向。本文主要通过对微惯性测量系统中加速度计和开关两......
随着人们在燃气计量管理中对计量结算的科学合理性认识的不断提高，传统的容积计量已不能满足要求，传统的流量计容易受天然气的压力和......
基于MEMS工艺加工制作的压阻式微加速度计是微惯性测量系统的关键组成部分,具有体积小、重量轻、一致性好,结构、敏感原理和检测电......
在社会的众多领域中,压力传感器都起到了很重要的作用。根据相关资料得知,压力传感器的种类很多,其中在硅质材料上完成的占大多数......
随着技术的发展与进步，克尔效应在高速摄影、光速测量等领域具有广泛的应用前景。然而，天然的克尔媒质需要较高驱动电压、极高纯度要......
本文研究了低浓度TMAH溶液对(110)和(100)面的腐蚀选择性,并测量了不同温度和浓度下对(110)和(100)面的腐蚀速率,探索了能使硅微通......
作为喷墨打印技术的重要分支,压电式喷墨打印技术凭借其打印分辨率高、成本低、使用寿命长和墨水兼容性好等优点,在印刷电子、细胞......
高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法......
在微射流陀螺工艺制造和设计的基础上，针对MEMS热敏元件的工艺信息，对其进行MEMS工艺仿真技术的研究。建立了MEMS热敏元件工艺结构的......
简要分析由MEMS工艺制成的新型微气体传感器阵列的原理及其优点,在此基础上,应用人工神经网络对气体传感器阵列的输出进行模式分类......
文章提出了一种应用MEMS工艺实现的新型小型化Ka波段滤波器。利用在腔内加载了切角的近似方形脊的矩形波导结构实现双模滤波，有效地......
设计了一种微型内燃机燃烧室中的点火装置，该装置为电容放电系统，电极采用金，悬臂梁结构，利用MEMS工艺制作。讨论了电极加工的技术关键......
介绍了硅各向异性腐蚀的特点和采用的模型,分析影响硅各向异性腐蚀速率的因素,然后借助计算机MEMS CAD软件ACES和IMEE对硅在KOH溶......
研究并实现了一种35μm宽三角形硅支撑梁X射线氮化硅膜窗口,通过对位于单晶硅片中央的氮化硅薄膜窗口进行测试,并获得了较好的性能......
介绍了半导体电阻式气敏元件工作原理，设计了一种基于MEMS工艺的薄膜气敏元件结构，此结构以Si3N4／SiO2／Si3N4复合薄膜作为支撑隔热层，蜿......
采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列，用于提取脑神经电信号．在整个工艺制作过程中需要三步光刻，制作的硅针长1．2mm，宽10......
基于外界压力引起敏感膜片形变导致腔长变化来实现压力信号传感的原理,提出了一种MEMS光纤法珀压力传感器的设计,建立了传感器敏感......
为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研......
微热板式气体传感器具有功耗低、体积小和灵敏度高等优点,具有良好的产业化前景,而传感器芯片批量制造成品率与单芯片加工成本是其......
二维阵列狭缝模板是阿达玛编码模板的一种新的设计思想,分析了模板上同列狭缝的加工误差对仪器波长准确度的不利影响,在此基础上,......
压电喷墨打印头是压电喷墨打印机的重要组成部分,压电喷墨打印头的质量直接影响压电喷墨打印机的打印性能。本文从选材、理论分析......
介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证......
基于介电润湿（Electrowetting on Dielectric,简称EWOD）的数字微流控芯片具有结构和控制简单,灵敏度和通量高,样品用量小,检测时间短......
提出了一种新型结构的法布里-珀罗(F-P)腔光纤压力传感器。该传感器基于法布里-珀罗多光束干涉,利用压力敏感膜的纵向挠度变化带动......
中国大陆对IEDM 2006的另一个贡献来自于中国科学院上海微系统与信息技术研究所的李昕欣小组。他们的论文标题很长，＂A Post-CMOS Co......
近场热辐射是当前国内外的一个研究热点。研究微纳器件中的近场热辐射对提高器件的绝热性能和开发新型器件都有重要的意义。本文开......
随着无线通信系统小型化、高频化、集成化进程的不断深入,系统射频前端无源器件难以缩小体积、实现集成的问题愈发凸显。微机电体......
小型化和高效散热是综合电子系统设计的两个主要需求。基于硅基MEMS工艺的射频电路具有集成度高、一致性好的特点;基于氮化铝基板......
针对柔性技术对柔性可拉伸电极的需求,提出一种在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性衬底上制备具有周期为8μm"三角波"结构Ag薄膜电极的方......
针对传统单晶硅材料热胀系数不稳定引起的硅基环形振动微陀螺的温度漂移问题,开展了玻璃基环形振动微陀螺谐振子的设计,并提出了一......
提出了一种基于MEMS工艺的薄膜型气敏元件结构，对其工艺进行了阐述。该气敏元件结构主要包括5层。采用ANSYS对气敏元件结构进行热模......
基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现。为实现......
针对传统爆炸箔起爆器功耗高、体积大等问题,对基于MEMS工艺制备的低功耗、小型化集成爆炸箔起爆器进行研究。从仿真设计、工艺制......
太赫兹波段处于毫米波与光波之间,所以具备它们的优点,还具有散射低、安全性高、透射比高、信道容量大和器件尺寸小等优点。因此,......
压电式喷墨打印设备具有成本低、集成度高、打印分辨率高、易于控制以及墨水兼容性高等特点,其应用已经由传统印刷行业逐渐扩展到......
MEMS惯性技术的发展把基于旋转和非旋转的惯性器件从宏观概念向微观世界推进了一大步。近年来,特别是微纳加工技术与振动惯性技术......
随着无线通讯技术的迅速发展,人们对无线通讯终端设备的需求趋向于微型化。同时,人们对无线通讯的带宽要求更高,因此需要更高的通......
碳纳米管是一种新型的纳米材料,因其结构中碳原子间显著的共轭效应而具有良好的导电性和微波导通特性,并且具有很好的热传导性能,......
