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目的，随着无线通信普及，未来市场需要更多的RF器件。而随着通信频率的不断提高，各种RF器件必定走向更小型化。而将MEMS微机械技术用于制造RF器件将是实现小型、低耗损RF MEMS器件的惟一方法。
MEMS工艺让RF系统级芯片成为可能
【摘 要】
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目的，随着无线通信普及，未来市场需要更多的RF器件。而随着通信频率的不断提高，各种RF器件必定走向更小型化。而将MEMS微机械技术用于制造RF器件将是实现小型、低耗损RF MEMS器
【出 处】
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电子与电脑
【发表日期】
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2007年4期
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