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在微射流陀螺工艺制造和设计的基础上，针对MEMS热敏元件的工艺信息，对其进行MEMS工艺仿真技术的研究。建立了MEMS热敏元件工艺结构的基本模型，基于这一模型，利用L-Edit编辑器绘制了完整版图结构；研究了工艺流程的模拟实现方法，利用基于TCl／TK语言开发的工艺编辑器绘制编辑出工艺流程文件；在三维平台上将版图根据工艺流程重构，可用于检测工艺方案的合理性。