纳米金刚石薄膜相关论文
利用Nd:YAG固体脉冲激光沉积(PLD)技术在氧气氛围下于α-AlO(0001)基片上制备出纳米金刚石(NCD)薄膜.借助扫描电子显微镜(SEM)、原......
本文研究了纳米金刚石薄膜的制备方法和结构特征,并研究了它的场电子发射特性.结果表明:我们制备的纳米金刚石薄膜具有更低的开启......
化学气相沉积金刚石薄膜具有所有的天然金刚石单晶的物理性能,它们被认为是下列各种应用非常有希望的候选材料,如热沉,声表面波器......
本文报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研......
有羧基的酸的电影 functionalized 组织的 nanodiamond (ND ) 的电气化学的行为在玻璃质的碳(GC ) 上系统地被学习电极。相应于羧......
利用双光束复合脉冲激光辐照石墨悬浮液沉积技术,制备了高效率、高质量的纳米金刚石薄膜,成功解决了金刚石薄膜沉积不均匀和衬底温......
为了制备出大面积均匀连续的纳米金刚石薄膜,并探索温度、气氛等条件对最终生长出的纳米金刚石薄膜样品的影响,使用微波等离子体化......
作为新型碳材料,石墨烯具有许多优异的力学与电化学性能。但这些性能容易受到石墨烯放置状态与基底的影响。因此石墨烯的放置状态......
本文用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。反应气体为CH4和H2,其流量比为CH4:H2=30:3......
纳米金刚石薄膜具有金刚石薄膜和纳米材料的双重特性,其应用前景广阔.本论文通过改装得到一套适用于HFCVD的简易制膜设备,制备出了......
本文研究了纳米金刚石外延薄膜的制备方法及其场发射特性.采用电泳方法将粒径20nm以下的纳米金刚石微晶沉积到Ti电极衬底上,用热丝......
超细纳米金刚石(UNCD)薄膜的制备现已引起了科学技术界的广泛关注。由于其具有优异的物化性能、电学性能、光学性能、机械性能、良好......
该论文通过对HFCVD装置的相关参数进行研究,改装建立了一套HFCVD制膜设备,并确立了一组适用于在该实验设备上利用HFCVD方法制备纳......
金刚石薄膜具有高硬度、抗腐蚀性强、宽带隙、高透过率、化学惰性以及负电子亲和势等一系列非常优异的物理化学性能,是一种具有巨......
纳米金刚石(Nano-crystalline Diamond,NCD)薄膜原位掺硼后具有p型半导体的特性,可以作为大功率半导体器件的p型层应用到半导体领......
纳米金刚石(Nano-crystalline diamond, NCD)、超纳米金刚石(Ultranano-crystalline diamond, UNCD)薄膜具有与微米金刚石相似的较......
X射线光刻掩模技术(XRL)被认为是实现32nm技术节点的下一代光刻技术(NGL)之一。作为X射线光刻掩模材料的候选者之一,金刚石薄膜的许......
高质量、高载流子迁移率和低电阻率的n型金刚石薄膜的制备是限制金刚石在电子工业中应用的瓶颈问题。本文采用热丝化学气相沉积法(H......
金刚石压力传感器的制作是高温传感器件的一个重要研究方向,具有很大的市场潜力.该文围绕金刚石薄膜高温压力传感器的制作这一主题......
金刚石具有高热导率、高机械强度、宽带隙和高电阻率、高电子迁移速率等优异的性能,在微电子器件特别是在高温高辐射条件下工作的电......
采用微波等离子体化学气相沉积法,以N2/H2/CH4 为气源,通过改变反应气氛中的N2 浓度(10%~30%)制备了金刚石薄膜。采用扫描电子显微......
该论文简要回顾了化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜研究的历史沿革和最新进展,并在此基础上着重介绍了作者用热丝CVD法研究硅衬底上纳......
该论文回顾了化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜研究的历史与进展,并在此基础上着重介绍了作者用热丝CVD法研究硅与硬质合金衬底上纳米......
本工作采用脉冲激光沉积法(PLD)制备出纳米金刚石薄膜(NCD)和类金刚石薄膜(DLC),初步研究了薄膜沉积时的参数:衬底温度、激光能量......
光学元件的抛光通常采用氧化铈粉。目前,氧化铈抛光粉的粒度通常为微米量级,限制了光学元件的抛光精度,而纳米抛光粉仍处于研制阶段。......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
场致发射是一种新型显示技术,具有良好应用前景,场发射显示器的核心内容是场发射阴极材料,纳米金刚石由于低表面粗糙度、低场发射......
表面纳米技术领域被认为是纳米技术最为关键和基础性的一翼。我国表面纳米技术的研究近期已取得重大突破,有望率先进入工业化应用阶......
纳米金刚石薄膜因具有纳米材料和金刚石的双重性质且易于制备,作为场发射材料在平板显示领域拥有潜在的应用价值,而引起人们的极大......
采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平......
用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜......
报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板上制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究......
纳米金刚石薄膜因具有纳米材料和金刚石的双重性质且易于制备,作为场发射材料在平板显示领域拥有潜在的应用价值,而引起人们的极大......
在HFCVD系统中施加栅极偏压和衬底偏压,采用双偏压成核和栅极偏压生长的方法成功制备了高质量的纳米金刚石薄膜。采用显微Raman高分......
以CH4和H2为反应气,采用微波等离子体增强化学气相沉积方法在直径为10 cm的硅原片上制备纳米金刚石薄膜。用X射线衍射仪、拉曼光谱......
采用微波等离子体化学气相沉积法,在医用钛合金上沉积金刚石薄膜,其晶粒尺寸40 nm左右,表面粗糙度Ra=39 nm.在SiC球为摩擦副的干摩......
用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜.测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值.实验结果表明,常规金刚石薄膜的电导率、损耗......
由上海大学夏义本教授课题组承担的强磁场下纳米金刚石薄膜的制备技术项目通过有关部门验收。强磁场下热丝CVD方法制备金刚石薄膜......
由上海大学夏义本教授课题组承担的强磁场下纳米金刚石薄膜的制备技术项目通过市科委验收。强磁场下热丝CVD方法制备金刚石薄膜的......
<正> 该项目采用高功率准分子激光照射固体碳靶,产生高能等离子体,在室温条件下快速沉积高品质大面积均匀纳米金刚石膜。经过三年......
采用微波等离子体化学气相沉积法,利用CH4、SiO2和Ar的混合气体在单晶硅片基底上制备出高质量的超纳米金刚石薄膜。表征结果显示,制......
采用双偏压辅助热丝-等离子增强化学沉积系统制备了纳米金刚石薄膜。采用AFM、SEM、Raman等考察了不同工艺条件对纳米金刚石薄膜形......
目的研究纳米金刚石薄膜生长掺硼的内在机理,实现对该过程的精确控制。方法采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼......
文章研究了不同沉积时间下制备的不同厚度纳米金刚石薄膜的微观结构和相组成。采用热丝化学气相沉积法分别制备了沉积时间为52、67......
采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳......