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<正> 该项目采用高功率准分子激光照射固体碳靶,产生高能等离子体,在室温条件下快速沉积高品质大面积均匀纳米金刚石膜。经过三年攻关,已顺利完成各项任务指标。1 自行设计、研制出“准分子激光制备纳米金刚石膜装置” 该装置主要由生长腔、多功能辅助装置及控制系统等组成。主要性能如下①生长腔容积60L,真空度可达到1.33×10~(-4)Pa。②腔内设有旋转+摆动多工位衬底台、旋转靶台、多种强场发生装置。③腔壁设监测窗口、红外、紫外光学窗口和电力、动力、辅