表面平坦化相关论文
本研究提出采用两种不同的离子剂量比的气体团簇离子束多级能量模式来改善n-Si(100)单晶片的创伤表面.模式一采用低剂量的高能量团......
机械产品材料表面力学性能直接关乎其服役工况下使役性能和寿命。应力诱导的表面磨损和疲劳失效等表面力学性能衰退现象成因复杂,......
本文提出采用气体团簇离子束的两步能量修形法来改善4H-SiC(1000)晶片表面形貌.先用15 keV的高能Ar团簇离子进行整体修形,再用5 ke......
一个电荷量的团簇离子,比如Ar+n.当团簇离子与固体材料相互作用时,由于平均每个原子携带的能量(～eV)根据超声膨胀原理,n(10—104)个......
基于二氧化钛纳米管阵列的光诱导约束刻蚀体系初探 田昭武院士提出的约束刻蚀剂层技术(CELT)已经在半导体材料，金属材料及合金上......
本文提出采用气体团簇离子束的两步能量修形法来改善4H-SiC(1000)晶片表面形貌.先用15 keV的高能Ar团簇离子进行整体修形,再用5 ke......
研究了一种去除碲镉汞液相外延（LPE）薄膜材料表面波纹的方法。器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得......
通过高温退火处理获得了具有在原子尺度范围内平坦化表面的Gd3Ca5O12（111）基片。在此基片上生长的Y3Fe5O12薄膜的表面光滑度有明显提......
以NSR1755i7A型投影曝光机为基础，分析了影响大面积精细光刻图形分辨率的主要因素。利用表面平坦化技术、BARC工艺技术和PEB工艺技......
用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表现粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率，同时却引起较低的损......
根据超声膨胀原理,n(10-10^4)个气体原子可以绝热冷却后凝聚在一起形成团簇,经过离化后,形成带一个电荷量的团簇离子,比如Arn^+.当......
为克服目前隔离结构平坦化技术在工艺控制、平坦化质量等方面存在的问题,提出了一种新的隔离结构表面平坦化工艺,即利用稠光刻胶做......
