投影物镜相关论文
提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原......
投影物镜波像差在线检测技术是极紫外光刻(EUVL)实现32 nm及其以下技术节点的关键技术,对于光刻机的整机集成具有重要研究意义和实......
０．８—１微米分步重复投影光刻机问世由中国科学院成都光电所承担的国家“八五”重点攻关项目─—０．８—１微米分步重复投影光刻机已通过由电子......
运用显微光学原理并通过与ＣＣＤ器件的耦合，实现了烟雾颗粒的实像直测。为保证工艺质量，运用ＣＡＤ技术优化公差分配。通过光路写真设计消杂光光......
本文提出一种利用激光干涉技术测定磨边透镜中心偏差的方法。根据等厚干涉的基本原理，用平行的激光束投射到磨边工件表面，可以得到两......
介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有时准光栅标记。经光栅衍射后形成......
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制......
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦......
叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均......
介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软X射线投影光刻技术的特性,并介绍了软X射线投影光刻原理装置的研制工作.该装置由激光等离......
广域偏光投影仪(见照片)是为了弥补偏光显微镜视域小、通常只能一人观察的缺陷而研制的(已由福建永安探矿机械厂产销)。它能将普......
2006年6月4日~8日,国际光学设计会议(International Optical Design Conference,简称IODC)在加拿大温哥华(Vancouver,Canada)的She......
提出一种利用基于数字微反射镜装置（DMD）的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元......
调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量......
在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构。分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心......
光刻是大规模集成电路制造过程中最为关键的工艺,光刻的分辨力主要取决于光刻投影物镜的光学性能。光刻投影物镜光学元件面形精度......
提出一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法。根据Hopkins矢量部分相干成像理论,推导了投影物镜含有偏振像差时交替型相......
提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统计分析,获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。......
中国科学院光电技术研究所创新研发的URE-2000型系列单、双面紫外光刻机、大面积紫外光刻机、纳米压印光刻机、DZ-2000Ⅰ型无掩模......
提出一种基于阶梯相位环空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测方法。通过对相位环空间像进行主成分分析和多元线性回归分析,......
提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论,从掩模空......
恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能,设计了一个小比例水套模型。恒温温......
从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或......
Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的......
这种新型的彩色电视光阀投影器包括:在密封真空管内部的受控变形液膜以及电子枪,一个外光源和投影物镜。它被用于诸如模拟,娱乐活......
投影式测厚仪主要用于测量各种光学零件的中心厚度。该仪器的主要特点是读数直观、使用文便。测量范围:0～50毫米,测量精度:0.01毫......
一、概述游丝弹性后效仪光学系统是整个仪器光、机、电三大重要组成部分之一。它为测量者提供游丝弹性后效值。游丝弹性后效仪光......
光学计量投影仪轮廓测量精度除了与测量工具的准确性和人眼的瞄准误差有关外,主要依赖于物镜放大倍率的准确性。而放大倍率的准确......
分析和计算了我们所研制的静态三维全息投影系统的结构参数及其象差,以期达到对全息投影系统计算原理的系统化和按不同应用要求确......
本文讨论了应用于摄制大型、高精度光学码盘的双高斯型光刻投影物镜的设计特点与合理方案。根据使用的特殊要求,本投影物镜设计的......
我厂1985年以前生产的TC1型凸轮测量头的读数机构因没有“调零”,给使用者带来很大不便。为此,我们对TC1型凸轮测量头进行了改造,......
中南光学仪器厂根据我国有色金属熔炼需要,依靠本厂光学、精加工技术的优势,研制成功真空电弧炉观察镜。该项成果是利用光学系统,......
本文介绍了投影式测角仪的光学系统,包括准直瞄准系统;投影读数系统;聚光照明系统。叙述各部分系统的成像关系,并讨论投影物镜的设......
本文叙述了云纹图诊断仪的一般原理,讨论了仪器参数的选择、光学系统和机械结构的特点,还提出了检验仪器精度的方法。
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本文提出了一种可用于集成电路装配和质量控制的、带有双投影物镜和全息光学元件散射全息屏幕的投影型全息显微镜(PHM)系统。介绍......
本文介绍了中型热轧圆钢直径在线检测仪器的测量原理,分析了影响仪器测量精度的主要误差因素,提出了用误差综合修正技术提高仪器精......
用投影仪检控边厚差和中心偏差的方法,解决了特别小的不可见光透镜、可见光透镜在生产过程中控制边厚差及中心偏差的验收问题。本......
相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的绝对测量精度和重复精度都直接受干涉仪装调误差的影响,因此采用具有高灵敏度的计算机辅助装调技术进......
介绍了一种空间三自由度纳米定位平台,其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准,因此对定位精度和定位速度都提出了很高......
相比传统角膜曲率仪引入双像棱镜进行角膜屈光度的测量,提出一种新型的基于光标成像原理的角膜曲率仪光学系统,其结构紧凑,操作简......
