偏振光照明相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

偏振光照明相关论文

浸没式光刻技术的研究进展

浸没式光刻技术是将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间来增加系统的数值孔径，可以将193nm光刻延伸到45nm节点以......

期刊

光刻浸没式光刻投影物镜浸没液体偏振光照明气泡

国际主流光刻机研发的最新进展

介绍了65nm和45nm节点国际主流光刻机的最新研发进展,重点分析了目前提高光刻机性能的关键技术,讨论了目前各公司的主流机型及其性......

期刊

光刻机双工件台技术偏振光照明折反式物镜浸没式光刻下一代光刻

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