微电子机械系统相关论文
电镀已经成为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中的一种重要加工手段,相比于传统意义的表面处理作用,MEMS技术中的电镀......
A novel design and fabrication approach for a high fill-factor micro-electro-mechanical system (MEMS) micromirror array-......
简要介绍了基于故障物理的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems, 微电子机械系统)可靠性研究方法和技术路线。以电容式RF MEMS......
残余应力是微机械表面加工过程中不可避免的,残余应力的存在会影响微机械器件的性能。通过引入等效力学模型,推导出残余应力作用下......
本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的......
该文提出了用虚拟现实技术实现微电子机械快速原形设计的思想.就是在计算机产生的虚拟环境中,用三维图形学制造出微电子机械器件的......
该文主要内容为:微操作的力学特性、真空微夹的设计原理及其组成、微动平台及其控制、微操作机器人的系统结构与实验等.分析微操作......
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示，它在MEMS设计参数与器件运行之间建立了直接联系。虚拟运行的基础是器件动态模型。通常的......
随着光网络带宽需求的不断增长，DWDM技术在长距离光通信系统中迅速发展，每根光纤可以进行几百到上千个波长的传输，每个波长可承载10Gb......
微电子机械系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多门学科交叉的前沿研究领域,是继微电子之后又一项革命性的前沿科学。MEMS......
原子钟是以原子跃迁谱为基础制作的时间频率信号标准设备或仪器,具有最高的频率精度,是航空航天、数字通信、网络授时、广播电视、......
提出一种新颖的基于光栅±1级干涉和相位载波(PGC)调制解调的光学加速度传感方案,并进行了样机制作和测试,其分辨率达到4×10-5gn......
数字微镜器件是一种新型的全数字化的平板显示器件，以其为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。本文将具体介绍数字......
人类进入21世纪以来，微电子机械系统(Micro-electro-mechanism system，MEMS)、计算机、通信、自动控制和人工智能等学科的飞速发展孕......
微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器、微电感器、微谐振器......
微惯性测量组合(MIMU)具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高的特点，在军事领域及民用领域有着广阔的应用前景。微小型MIMU/GPS组合......
在过去的三十年中，微电子机械系统(MEMS)发展迅猛。随着MEMS技术的迅速发展，许多微机电器件和系统顺势而生。其中，有一类MEMS器件是利......
微电子机械系统(MEMS)是多种学科和领域交叉融合的技术。随着加工工艺技术和计算机技术的发展，计算机辅助设计和虚拟现实被引入到了......
微型机电系统(也成为微电子机械系统)基于现代科学技术微型化和智能化的发展趋势而产生，它集成了微型光、机、电、化和生物等元件，组......
微电子机械系统以及纳米机械的迅速发展对于分子尺度下器件摩擦、润滑和磨损特性的研究提出了迫切的要求。因此从分子层面上研究摩......
微电子机械系统是由特征尺寸在亚微米至毫米范围内的电子和机械元件组成的微器件或微系统。其中,微机电传感器凭借其低成本、小体......
微泵控制技术是微电子机械系统发展需要解决的关键问题之一,由于电渗微泵结构简单,操作简单易行等优点,得到了人们越来越多的关注......
微流控芯片技术是近几年发展起来的一种全新的分析技术，它是基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)技术在玻璃......
微电子机械系统(MEMS：micro electromechanical system)的研究始于上个世纪的八、九十年代，目前已经成为一股研究潮流。而微泵控制技......
全球导航卫星系统（如GPS）已经广泛存在于智能手机、平板电脑、汽车、飞机、轮船等设备上，在陆上、航空、航海等领域导航定位发挥着巨......
微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件，用于完成微小目标的夹持、移动和组装等动作，在微装配、微操作等方面具有重要的作用。本文......
目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动......
随着微电子技术渗透到机械工程的各个领域和机电一体化的发展，微电子机械系统（MEMS）已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一项高......
本论文主要研究微电子机械系统(MEMS)中空气挤压膜阻尼效应对微谐振器件的影响。微电子机械技术在过去的二十多年里发展非常迅速，出......
MEMS的建模仿真对于缩短它的研制周期、降低成本、提高产品性能有着极为重要的意义。电容式微加速度传感器是一种典型的MEMS产品，有......
PZT铁电薄膜在微电子和微电子机械系统(MEMS)技术领域有着重要的和潜在的应用.在加工基于PZT薄膜的各种MEMS器件过程中,PZT薄膜的......
锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优异的压电性能，是微电子机械系统(MEMS)领域中一种重要的传感和驱动材料，在制备微传感器和微驱动器器件中具......
微电子机械系统(MEMS)是科学技术在微观领域的发展和应用。微电子机械产品有着广阔的发展前景和潜在的巨大商业价值,在现代商业竞......
半球谐振陀螺是利用Coriolis效应工作的振动惯性器件,由于这种陀螺具有较高的精度和可靠性,而且拥有较长的工作寿命,所以其极具发......
近二十年来，自然科学及工程技术发展的一个重要趋势就是朝着微型化迈进。在飞速发展的微电子机械系统应用中，微尺度流动与传热问题日......
1.阐述了微型电子机械系统(MEMS)在国内外研究状况,列举了MEMS实际应用研究成果,指出MEMS发展过程中存在的若干问题,总结了微静电M......
微型电子机械系统(MEMS)采用与集成电路(Integrated Circuits,IC)技术相兼容的加工技术，制造出尺寸达到微米甚至纳米级的机械，尺寸效......
随着科技的发展，惯性传感器在工业应用中越来越得到广泛应用，比如应用于汽车防撞气囊的加速度计和导航系统的陀螺仪。微电子和微机械......
微带天线具有许多优点，如体积小、重量轻、剖面薄、容易与载体共形、与集成电路的兼容性好、易于大批量制作等，在近几十年来得到了广......
射频开关是射频通信网络中最基本的器件之一，本文提出了一种新型基于硅衬底的新型射频微机械丌关，介绍了射频微机械开关的设计原理和......
微机械陀螺由于使用了MEMS(微电子机械系统)技术作为加工手段，使得其体积、成本等相对于传统的陀螺仪有很大的下降，同时，其加工手段有......
微电子机械系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展而来,集传感、信息处理和执行为一体的集成微......
