MEMS的建模仿真对于缩短它的研制周期、降低成本、提高产品性能有着极为重要的意义。电容式微加速度传感器是一种典型的MEMS产品，有关它的建模、仿真和优化研究，对探索MEMS的建模仿真技术具有较大的参考价值。该文首先论述电容式微加速度传感器的分类、现状和发展趋势，并对它的若干关键技术及研究方向加以探讨。该文在分析电容式微加速度传感器力学原理和测量电路原理的基础上，对它的气体阻尼及动态特性进行了研究。建立了电容极板间常压下的压膜气体模型，并引入气体分子的滑移边界条件对它进行了修正;还建立了敏感质量块-活动电极与衬底间滑膜气体模型和稀薄气体阻尼模型，在此基础上提出了微结构气体阻尼的优化的策略。该文还在构造传递函数的基础上，对这种传感器的动态特性进行了机电一体化的仿真分析，并分析了系统参数对动态特性的影响，还探讨了静电力作用下系统的稳定性问题，给出了系统的稳定区间。另外，该文还分析了微结构的结构参数对加速度计性能的影响，提出微结构优化设计的一般策略，并探讨了不同加工条件下的微结构优化设计的关键问题，并分析了静电力反馈回路中关键电压的计算和优化问题。作为设计、建模和仿真研究的应用，该文还实际设计了一种用LIGA工艺电容式微加速度传感器，给出了微机械结构和测量电路的具体设计方案。