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随着MEMS技术的不断发展和进步，人们希望将各种微器件与能源部件集成在一起，形成一个具有独立工作能力、能长时间稳定工作的微系统，这......
随着MEMS的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。现有的各种微能源由于其体积、使用寿命、环境适应能力、集成性等方面的......
研制小体积、轻重量、高能量密度而且能够持续供能的微能源系统对微机电系统具有重要意义。放射性同位素电池具有寿命长、对环境适......
传统同位素微电池的能量转换结构采用单层阵列形式，造成电池输出功率较小，不能满足微型传感器件的需求．设计了一种基于大阵列多层压制......
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同......
