论文部分内容阅读
微型机电系统(也成为微电子机械系统)基于现代科学技术微型化和智能化的发展趋势而产生，它集成了微型光、机、电、化和生物等元件，组成可以获取信息、处理与执行的系统。目前，微电子机械系统已在航空航电、医疗仪器、通信等领域得到广泛的应用。为改进费时又费钱的“试验和改进”的设计方法，设计者需要利用模拟工具预测所设计微电子机械系统的性能，从而减少微电子机械系统制造失败的次数。为进行有效的系统级模拟，必须用简单的，准确的模型代替微电子机械系统器件，才能放入到系统模拟器中对系统的综合功能快速评估。而现有的建立器件模