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采用离子轰击技术对钛基ｐＨ电极进行表面处理，在其表面生成以δ相和ε相为主的组织结构。离子氮化后再引入微量氧可使渗层结构中有部分氧化钛，对ｐＨ的响应好。经该工艺处理的钛基ｐＨ电极与玻璃ｐＨ电极测量ｐＨ的结果一致，而且克服了玻璃ｐＨ电极容易破碎的缺点。采用本工艺可生产性能优良的ｐＨ传感器。
钛基pH电极表面离子轰击处理的研究
【摘 要】
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采用离子轰击技术对钛基ｐＨ电极进行表面处理，在其表面生成以δ相和ε相为主的组织结构。离子氮化后再引入微量氧可使渗层结构中有部分氧化钛，对ｐＨ的响应好。经该工艺处理的钛基ｐＨ电极
【机 构】
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广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心
【出 处】
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广东有色金属学报
【发表日期】
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1999年2期
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