微陀螺模态特性的参数化分析方法

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiushizhegehao
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模态分析是微陀螺结构设计的重要环节,针对一种采用L形截面悬臂梁支撑的微陀螺结构,提出了参数化的模态分析方法。建立了微陀螺的参数化模型,以VC作为封装ANSYS的APDL命令流的工具,开发了微陀螺参数化的模态分析模块。利用该模块研究了微陀螺模态频率随主要结构尺寸变化的规律,发现对模态频率影响较大的是硅结构的厚度和支撑梁的宽度,并通过优化结构尺寸使其模态频率完全匹配。
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