全固态微陀螺的研究进展

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全固态微陀螺无整体活动部件,具有测量范围大,抗冲击、抗震动能力强,对真空封装无较高的要求等方面的优点,是微型MEMS陀螺的一个重要发展方向,也是当前世界上相关领域的研究热点之一。本文针对全固态微型陀螺的概念、种类、特点、发展现状及趋势等方面进行了综合论述,最后着重阐述了一种具有崭新工作机理的压电型全固态微陀螺。本文为从事相关领域的技术研究提供背景知识参考。
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