激光干涉光刻相关论文
近年来,激光干涉光刻技术成为了人们的研究热点。作为制备周期性微纳结构的有效手段之一,激光干涉光刻具有无需掩膜、成本低廉、高......
偏振成像探测技术为特殊环境下提高对目标的探测能力提供了新的成像手段。根据偏振信息收集方式以及观测成像场景的不同,常用的偏......
分布反馈式(DFB)半导体激光器具有优良的稳定性和单模性, 广泛应用于激光器抽运和光通信等领域。光栅作为DFB激光器的关键部件, 对......
纳米、微米尺度的表面结构优化可以有效改善材料表面性能。微纳结构功能表面研究是表面工程领域的热点方向。其中,固体材料表面光......
亚波长金属光栅结构是近年来迅速发展起来的纳米功能元件之一。将亚波长光栅结构和GaN基LED发光芯片集成一体，在提高出光效率的同时......
近年来，纳米图形结构得到广泛的应用，包括在光电子器件、量子点生长、探测器等领域，而其最主要的目的是提高器件的整体性能，如提高光电......
表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance，SPR)是光与金属物质相互作用的一种特殊物理现象。SPR对金属微纳结构表面折射率的变......
硅基薄膜太阳能电池以成本低、无毒、材料丰富等优势,已经成为晶硅电池发展的主流方向。但是,硅吸收层厚度的减少导致电池的光电转......
表面浸润性是固体表面一个非常重要的特性，它是由化学组成和表面结构共同决定。超疏水表面在国防、日常生活和工业领域中有着广泛的......
增加光的吸收率是提高光伏电池效率的重要措施之一,而光伏电池特性测试是评价光伏电池性能的重要手段。激光干涉光刻技术为制作高......
表面等离激元光学(Plasmonics)是一门蓬勃发展的新兴交叉学科。表面等离激元（surface plasmon polarition，SPP）是一种可由光场激励驱......
应用三光束激光干涉光刻制备双周期光栅结构.并在结构上培养人肺癌上皮细胞,用扫描电子显微镜评价该光栅结构.另外形态学观察该结......
将涂有光致抗蚀剂的硅片或其它光敏材料置于由多束相干光以某种方式组合构成的干涉场中,可以在大视场和深曝光场内形成孔、点或锥......
光学光刻技术在微细加工和集成电路(IC)制造中一直是主流技术。随着IC集成度的提高,要求越来越高的光刻分辨力,但光学光刻的分辨极......
成功开发出以劳厄干涉为基础的激光干涉光刻系统与工艺,该工艺可在大面积范围内加工二维周期性图形,非常适合于生产光电子器件和微......
利用激光干涉光刻技术制备大面积表面微结构的方法对探测器表面进行处理，实验与测试表明，此方法能够增加探测器对信号的吸收率及提高......
为了制备质量更高的微纳双重结构，采用激光干涉光刻技术，分别搭建三光束、四光束和六光束光路进行光干涉，对干涉结果进行图像采集的实......
介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干......
介绍一种采用紫外(363.8nm)激光干涉光刻得到大面积二维纳米点阵结构的方法,该技术具有操作简单、光路搭建成本低、可以大面积加工......
利用电磁理论,研究了多光束激光干涉图样的产生原理,结合计算机数值模拟和相关实验结果,分析了干涉图样的影响因素。研究结果表明：......
本论文通过结合二元光学、多光束激光干涉光刻和电化学刻蚀技术,充分利用其自身的优势,采用经典电磁场理论,依据介电常数和折射率......
自从1998年Ebbesen小组发现了超常光学透射现象,已经有很多关于通过金属纳米孔阵的共振增强透射方面的研究。这些研究成果为在纳米......
作为半导体器件的重要制造技术之一,光刻技术受到了人们的越来越多关注,面临着更多新的挑战。激光干涉光刻能产生周期性点、线结构......
基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时......
目前国内外在自清洁表面的人工制备方法上取得很大进展,有些技术已有商业化的应用。但是现有技术的一大共同点,是不能按照使用需求......
自然界中动植物在进化过程中体表形成的特殊织构给了人类很多启发。尤其是织构阵列减小摩擦技术领域。通过研究现有生物的表面微纳......
光的辐射、传输和接收是一种重要的自然现象,伴随着人类社会的发展,对于光的研究一直没有停止过。进入现代社会后,光与物质的相互......
微纳结构增透膜由于其在较宽的波段以及入射角范围内能有效抑制反射损耗、增加光的透过率而得到广泛关注。在科学研究方面,目前用......
随着特征尺寸深入到微/纳米量级，由于尺寸效应和表面效应的影响，微摩擦和粘附问题成为影响M/NEMS快速发展的关键因素微构件表面织构......
激光干涉纳米光刻是一种产生纳米级周期性图案的有效技术。焦深长,分辨率高,无掩膜,成本低是该技术的优点。由于在工业生产制造中,......
激光干涉纳米光刻技术不需要昂贵的光学投影系统,将两束或两束以上相干激光束相组合成不同的形式干涉,对光致抗蚀剂曝光,这是一种......
纳米技术是当今世界的一项关键技术,已成功用于包括医学、药学及生物检测等许多领域。纳米光刻技术具有很重要的应用前景。在多种......
随着微细加工行业的日益增长的需求,多种光刻技术也得到了发展,其中包括激光干涉纳米光刻技术。在激光干涉纳米光刻技术应用中,经......
激光干涉光刻是一种在材料表面大面积加工亚微米尺度周期性结构的方法,由于其具有成本低廉、不需要掩模板、简单高效等优点,正受到......
白光照明用GaN基高效率大功率LED，近年来引起了人们研究的广泛关注，是未来LED产业的发展趋势。蓝宝石图形衬底，可有效降低其上GaN外延......
本文介绍了一种简单高效的制备硅纳米孔阵结构的方法.利用激光干涉光刻技术,结合干法和湿法刻蚀工艺,直接将光刻胶点阵刻蚀为硅纳......
纳米科技独特的魅力在于其纳米效应,而实现纳米效应的关键就是具有纳米结构,周期性纳米结构在高密度数据存储、光子晶体、MEMS和生......
