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硅基薄膜太阳能电池以成本低、无毒、材料丰富等优势,已经成为晶硅电池发展的主流方向。但是,硅吸收层厚度的减少导致电池的光电转换效率大大地降低。为了解决该问题,目前最有效的途径就是引入高效的陷光结构来延长入射光在电池内部的传播光程。本论文研究了周期性纳米陷光结构的设计与制备,提出了二维余弦型和直角四棱锥型两种陷光结构,并对它们进行了设计优化,以及结合现有实验条件对二维余弦型陷光结构进行了制备和性能测试。主要研究工作如下:首先,用严格耦合波法(RCWA)针对10μm厚度的硅吸收层分别设计集成有二维余弦型和