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增加光的吸收率是提高光伏电池效率的重要措施之一,而光伏电池特性测试是评价光伏电池性能的重要手段。激光干涉光刻技术为制作高效光电池开辟了一条途径。本文基于激光干涉光刻技术原理,通过仿真分析和实验研究制造了光伏电池表面的陷光结构,并检测了该结构的反射率和疏水特性,在可见光波段反射率都在5%以下,与水的接触角可达151.6°。在此之前,较为准确地测定了硅片的光刻阈值,它的准确测定对于指导实际光刻具有重要意义。最后,根据可变电阻法设计了一款光伏电池特性测试仪,具有较高的精度和速度。