微悬臂梁相关论文
Micro/Nano-Electronic-Mechanical system（MEMS/NEMS）传感器技术由于其微型化、集成化、智能化、成本低和效能高等优点,被认为是继......
利用铜环辅助涂覆法在微悬臂梁表面涂覆了氧化石墨烯(GO)作为湿度敏感层,研究了传感器在不同相对湿度(RH)下位移偏转变化.GO薄膜吸......
利用微悬臂梁实验、聚合刷标度理论、DNA溶液液晶理论以及层合梁两变量方法等，研究温变效应和分子间相互作用对无标记生物检测中DNA......
针对传统气敏材料表征实验中微悬臂梁称重装置存在温控系统体积大、能效比低及升降温速度慢等问题.文中设计了采用双层帕尔贴结构......
微悬臂梁传感检测技术作为一种基于光、电信号检测的新技术在生物医疗、化学、环境等诸多领域已经发挥显著的作用。本文设计了基于......
The self-mixing interferometer is used to investigate the characteristics of resonant frequency of the microresonator, w......
研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响......
对基于微悬臂梁的光学和红外探测技术进行了理论分析，并建立了相应的理论模型，在此基础上对该类探测器进行了优化设计，包括:微悬臂梁......
利用波长为248nm的氟化氪（KrF）准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷（PZT）、硅（Si）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）,研究了准分子激光对这3种材......
微悬臂梁具有结构简单、高灵敏度、成本低等特点，是纳米测试技术中的常用工具，尤其作为原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）探针......
本论文研究了基于微悬臂梁的微光腔中的光热耦合机制中光热冷却效率的温度依赖性。我们的实验研究以磁共振力显微镜(MRFM)的实验平......
超疏水现象广泛存在于自然界与日常生活中,其独特的自清洁能力为生产生活带来了诸多便利;但是其与液体之间的微弱相互作用也为工农......
微纳机械振子因其优良的力学性质在精密测量领域中被广泛的应用。将待测物理量与微纳机械振子的位移耦合,通过测量微纳机械振子的......
偶氮苯聚合物是具有可逆顺反异构能力的光响应聚合物材料,也是目前研究最为广泛的一类光响应聚合物,特殊的光响应性质使其在信息存......
随着MEMS微加工技术的发展,微悬臂梁作为一种高灵敏度的纳米传感元件广泛应用于物理化学生物等传感领域,如温度、湿度检测,生化分......
原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM),突出地显现了显微观测技术作为人类视觉感官功能的延伸与增强的重要性,它是在扫描隧......
微机电系统(MEMS)是本世纪重要的科技技术之一,广泛地应用于社会发展的各个领域。微悬臂梁作为微机电系统中基本结构器件,其优化设......
学位
传统的检测技术和检测仪器不能满足实际检测的需要,而微悬臂梁传感技术用于气体检测是一个新思路.微悬臂梁传感器具有高精度、高灵......
微机电系统（MEMS）器件已成为21世纪的一个标志性技术，可靠性是一个重要的发展瓶颈。微悬臂梁是MEMS器件中最典型的结构，也是机电耦合的......
学位
微悬臂梁是MEMS（微机电系统）器件中较典型的结构，常用作传感器和执行器。它具有灵敏度高，体积小，成本低等优点，在质量检测领域受到了越来......
微米尺寸结构应用广泛,非常规的使用环境对其动态特性要求比宏观结构高,依然采用宏观结构测振系统无法满足对微小结构的有效激励与......
微电子机械系统是由特征尺寸在亚微米至毫米范围内的电子和机械元件组成的微器件或微系统。其中,微机电传感器凭借其低成本、小体......
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏......
采用氧化锌压电薄膜制作的微悬臂梁,既可以作为微型执行器,也可以作为微型传感器。采用氧化锌纳米棒制作的纳米谐振器,以其超小的......
静电驱动是微机电系统(MEMS)中最重要的驱动方法之一,应用极为广泛。由于静电力固有的非线性、微尺度下的压模阻尼等非线性因素的......
微机电系统(MEMS)作为20世纪80年代发展起来的新兴学科,是一种多学科的相互交叉与综合。微悬臂梁是微机电系统中最典型的结构,经常......
自从原子力显微镜(AFM)诞生以来，其检测技术得到迅速发展，应用范围也日趋广泛。目前，原子力显微镜已成功的应用于物理、化学、金属、......
作为一种高灵敏度的传感器件,微悬臂梁的应用极为广泛,最初是应用于原子力显微镜(AFM)上,它的使用使AFM不仅具有原子级分辨力的显......
微悬臂梁是一种基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)技术的微结构，广泛用作微力传感元件和扫描成像探针，以及作为传感器换能......
微悬臂梁是微米纳米科技领域重要的力学传感器,微悬臂梁的弹性常数是决定其力学测量性能的重要参数。工作在高阶模式下的微悬臂梁......
学位
微悬臂梁是纳米领域重要的微力传感器,而微悬臂梁的弹性常数又是决定其力学性能的重要参数。由于微悬臂梁的尺寸处于微米级,有些特......
在医学研究中，抗原和抗体的检测作为用于评价人和动物免疫功能的一项重要指标，对疾病的诊断有重要意义。传统的检测方法需要利用同位......
液滴蒸发是自然界存在的基本现象,也在航空业、原油提炼、农药喷洒以及微纳米流体系统和纳米印刷等技术领域发挥着极其重要的作用......
微悬臂梁传感技术是一种新式传感检测技术,涉及机械学、电学以及力学等交叉学科。微悬臂梁传感技术作为一种检测便捷、灵敏度高、......
压阻微悬臂梁式生物传感器是多学科最新研究成果的产物,主要包括:微机电系统、集成电路技术、纳米技术、分子生物学和材料学。此种......
近年来,无标记的免疫检测方式越来越受到人们的关注,电化学免疫传感器是实现无标记检测的重要手段之一,具有快速、微小型化、低成......
基于对影响微悬臂梁谐振器品质因数的内摩擦、支座损耗、氧化层（或镀层）损耗和分子阻尼、空气阻尼和压膜阻尼等阻尼机制的理论分析，计......
本文研究了用于表征微悬臂梁动态特性的高真空系统,研究了用于夹持微悬臂器件的样品台和用于调节真空室内压力的精密可调漏气阀。......
1 NIST为了测量纳米级的比热容量,研究出用光学、电子技术检测和加热双层微悬臂梁(Pt-SiNx)的新方法。该方法中双层微悬臂梁同时起......
矩形微通道式微悬臂梁传感器可用于检测单个微粒子或细胞的质量,在生物和化学等领域具有非常广泛的应用前景。设计了一种含有矩形......
1 引言rn原子力显微镜(简记为AFM)是利用其微悬臂梁的机械振动响应于力敏探针和实验样品表面之间的相互作用力来成像的,由于具有原......
介绍了一种基于标准硅工艺的电容读出式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作以及集成读出电路的设计。该探测器用于探测室温下物......
提出了一种新型的微光学太赫兹辐射探测方法,以双材料微悬臂梁结构热探测方法为基础,通过多重反射光杠杆系统测量微结构的纵向微位......
利用微悬臂梁传感技术对两种中药成分(青蒿素与马兜铃酸)抗原抗体的特异性结合进行检测。首先用巯基化二抗将青蒿素或马兜铃酸抗体......
对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍....
光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平......
