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MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有很大的应用价值。本文以PZT、PT/PZT/PT压电薄膜悬臂梁式微力传感器为研究对象,研究了压电薄膜制备及表征,并对压电薄膜悬臂梁式微力传感器进行了仿真、制作和测试。通过应用有限元软件ANSYS10.0对压电薄膜微悬臂梁结构进行静力分析、模态分析和谐响应分析,研究了静态和动态下压电薄膜微悬臂梁的结构尺寸对微力传感器灵敏度的