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微机电系统（MEMS）器件已成为21世纪的一个标志性技术，可靠性是一个重要的发展瓶颈。微悬臂梁是MEMS器件中最典型的结构，也是机电耦合的关键元件，裂纹的存在会导致结构动力学特征的改变，而在结构中引入孔缝能够提高压阻MEMS悬臂梁传感器的灵敏度。本文主要对裂纹微悬臂梁机电耦合系统的动力学特性以及通过引入应力集中区域（SCR）提高压阻悬臂梁传感器的灵敏度进行了研究。本文的主要内容和结论如下：（1）采用余弦波裂纹呼吸模型，考虑压膜阻尼效应，建立了单自由度静电驱动裂纹微悬臂梁的动力学模型，分析了裂