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微悬臂梁是微米纳米科技领域重要的力学传感器,微悬臂梁的弹性常数是决定其力学测量性能的重要参数。工作在高阶模式下的微悬臂梁具有更高的分辨力和灵敏度,由于基频模式下弹性常数标定的理论和方法在高阶模式下不再适用,这就需要对微悬臂梁高次谐波下的弹性系数进行标定。针对上述问题,本课题探索了两种高阶模式下微悬臂梁弹性常数的标定方法。(1)利用原子力显微镜测量高次谐波下微悬臂梁的谐振频率和品质因数,通过理论公式计算得出微悬臂梁在各次谐波下的弹性常数;(2)利用显微多普勒激光测振仪测量微悬臂梁的功率谱密度,再通过功