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埋氧层应力对微悬壁梁加工断裂的影响机理研究
最近几年以来,基于SOI硅片的微纳加工技术——尤其在高灵敏度微悬臂梁传感器制作领域,已经得到了越来越多的研究。为了在SOI片上获得......
学位
微纳加工技术
微悬臂梁
埋氧层
氧化应力分析
破裂机理
传感器
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