微光机电系统相关论文
微惯性测量单元是惯性导航系统的核心组件，亦是构建微定位导航授时（μ-PNT）系统的重要组成部分。当前成熟的微惯性测量单元主要基于微......
毫米波与太赫兹频段的电磁波具有其他波长不具有的安全性、金属反射特性、非电离特性和非极性物质穿透性等,且其波长相对较短,可以......
提出了一种基于新型微电极且沉积过程可自动控制的局域电化学沉积技术, 实现了高纵横比的铜微结构的制备。将新型微电极作为阳极固......
提出一种新颖的面向高清电视(HDTV)的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM)，它利用衍射原理对光进行动态调制，具有较简单的......
微光机电系统（Micro-Opto-Electromechanical System,MOEMS）是微机电系统的一个重要分支，是指由微光学和微电子技术交叉而成的一种新......
基于哈达玛变换算法和微光机电系统（MOEMS）微镜的良好可编程性，提出了一种改善新型空间调制傅里叶变换光谱探测系统信噪比的方法。对......
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱......
针对激光起爆引信光逻辑控制系统的安全性能要求,提出了一种硅基MEMS后坐保险机构。后坐保险机构主要由弹簧质量系统、齿型制动机......
硅微型机械是个新兴领域,它正使几乎每一科技领域都变得紧凑。在各种领域中,如化学、汽车、细胞和光通讯工业,硅微型机械正成为许......
本文设计了一种基于纳米尺度分布式布拉格反射光栅(nano-DBR)结构的一维光子晶体宽禁带波长调制系统.根据1.55μm通信光所在波段性......
飞秒激光脉冲经强聚焦后，可以在很低的平均输出功率下实现GW/cm量级的瞬时激发光强，与连续激光和长脉宽的脉冲激光相比，能以极低的脉......
讨论了二维光栅光调制器阵列的表面弯曲度对衍射光学特性的影响。利用实测的表面结构数据建立了阵列模型,利用Matlab软件计算了不......
MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)微光机电系统是一个具有高效率、高表现以及低成本等特点的,非常具有吸引力的对于......
自适应光学系统利用镜面的形变来实时校正波前畸变,从而清晰成像,其中最复杂,同时也最具代表性的部分是变形镜。传统方法制造的变......
微光机电系统(MOEMS)是一门涉及微光学、微机械、微电子技术的新兴学科,由于采用了集成工艺制作技术,因此具有体积小、响应快、集......
食品质量问题频现,掺杂、掺假、劣质食品极大地危害着人民群众的身体健康,在国内产生了极其恶劣的影响,引起了社会极大关注。食品......
微光机电系统（MOEMS）是近几年在MEMS技术中发展起来的一种新技术系统，它相比于传统的微机电器件可实现高度的集成化和功能一体化，目前......
研制了一种工作在 1 5 5 0nm波长范围内的单模光纤微机械可调式光衰减器。该衰减器利用非硅表面微加工工艺 (这种工艺采用光致抗蚀......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流......
本文介绍了MOEMS惯性器件的概念和特点,总结了国内外MOEMS陀螺和MOEMS加速度计的研究方案和研究进展,指出了未来MOEMS惯性器件可能......
研究并设计了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺的微位移及角度控制致动器。它包括高灵敏度压电陶瓷组件和控制电路,具有对微......
设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里-珀罗腔的理论模型解释.推......
谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的.研究并提出了一种新型的可应用于微......
可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特......
在目前成熟的IC技术的辅佐下,微机电系统(MEMS)产品的尺度可控制在毫米到微米量级范围内,并可进行大规模生产,这无疑为产品的小型......
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(......
设计制作了一种用形状记忆合金驱动的周期可变光栅.用硅微细加工技术制作一种类似弹簧结构的光栅,将光栅与形状记忆合金相连.通上......
为了改善微反射镜存在的驱动电压高、驱动力小的缺点，基于双金属效应，制得可调焦微光学自适应阵列。以硅为基底，先后经过热氧化、光刻......
提出了一种锆钛酸铅（PZT）薄膜微致动器的结构模型。该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电（MOEMS）陀螺微镜进......
采用In-3Ag钎料对封装微光机电系统（MOEMS）的可伐盖板和锗窗进行无助焊剂真空密封钎焊,分别应用SAM对钎焊界面进行缺陷检测,应用SEM......
描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果.光栅样机采用硅微......
随着信息技术逐步走上多媒体、网络化和智能化的道路,信息获取技术和信息执行技术都成为信息发展的瓶颈.为了满足这一日益迫切的要......
主要介绍了微光机电系统(MOEMS)在光通信领域中的应用,重点介绍了MOEMS光开关等器件应用在光通信网络中的原理及优势,并对微光机电......
为了研究微光机电系统的元器件——微角反射器的制作理论和过程，采用自组装方法设计制作角反射器，通过光刻和选择性蚀刻确定角反射器......
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车......
借助Maxwell方程组,将时域有限差分法应用于实验室研制的新型层叠式微机械微带贴片天线的建模和分析,并根据数值模拟结果讨论了天......
为了改进微光机电系统中加速度集成化差、灵敏度低问题,采用过振保护、稳定性较好固支梁进行加速度传感系统设计。通过环形谐振腔......
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型......
微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建......
设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电（MOEMS）加速度计，介绍了其工作原理及系统构成．利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变......
介绍了主流显示器件的灰度调制方法,分析了现有方法的缺陷。以人眼视觉特性为基础建立数学模型,提出了一种灰度优化算法,并通过FPG......
