剥离工艺相关论文
集成电路是信息社会的基础设施,集成电路制造的核心工艺是光刻工艺,光刻胶的国产化是我国集成电路产发展的重要保障。本文介绍了HT......
电子束曝光技术是制备纳米精细结构的关键技术,在纳米科学研究、微纳原型器件制备、生物医学等领域具有广泛的应用。本论文以电子......
随着科技的发展,微流控技术已逐渐成为科研工作者研究生物、医药、化学等领域中不可取代的技术手段。由于数值仿真技术及相关理论......
平果铝土矿为岩溶堆积型铝土矿,矿床类型独特。本文根椐平果铝土矿剥离作业技术条件和采用设备,探讨了适合采场作业特点的剥离工艺选......
摩擦和磨损在日常生活和各种工业应用中随处可见,摩擦引起的磨损会导致包括表面损坏以及设备性能和可靠性的下降在内的各种问题。......
高性能润滑添加剂是基础润滑剂的核心成分,尽管其添加量所占比例较少,但在赋予润滑剂新特性和弥补其性能缺陷等方面发挥关键作用。......
磁性隧道结磁场传感器作为一种非接触式传感器,在自动化技术、卫星定位、精密测量等领域有着广泛的应用,目前在磁阻变化率等磁性能......
金刚石作为新兴的超宽带隙半导体材料的代表之一,具有载流子迁移率高、导热系数高等一系列优点。在金刚石材料研究方面,目前高品质......
设计和研制了耗尽型选择性掺杂异质结晶体管。外延选择性掺杂材料是由本所Fs-Ⅲ型分子束外延炉生长的。制作器件的材料在室温下,霍......
本文介绍了单层胶剥离工艺在制作小面积超导隧道结中的应用。采用该技术,用一般国产设备和光刻胶.制作出结面积为4×4μm~2的五结......
论文对伊敏露天煤矿应用轮斗连续工艺进行剥离工艺改造的可行性与系统布置进行了研究.研究认为,随着转入露天矿开采深度和剥采比的......
文章设计了实验方案,确定遮蔽层涂覆工艺、固化曲线、剥离工艺。通过遮蔽层对导电表面与硫酸阳极氧化溶液的有效隔离,实现了对设备需......
介绍了直接光刻技术的技术要点及其在HEMT器件研制中的应用,采用这种技术与剥离工艺结合可产生0.1 ̄0.3μm微细金属栅电极,研制成功的HEMT器件跨导达380ms/mm,截......
TiNi形状记忆薄膜光刻工艺是此类MEMS器件制作的关键技术之一.研究了剥离工艺(lift-off)用于TiNi薄膜图形化的可行性,并首次利用溅......
金属纳米线因其在电学、磁学、光学研究领域具有较为独特的性质,近年来被国内外学者采用多种方法制备,并且应用在越来越广泛的领域......
随着MEMS的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。现有的各种微能源由于其体积、使用寿命、环境适应能力、集成性等方面的......
高岭土是一种重要的非金属矿,被广泛应用于造纸、涂料、橡胶、陶瓷、耐火材料、石油催化剂等行业。本课题对插层-分解法(有机物插层......
玉石矿床学是连结玉石地质学与石鉴定、评估以及优化处理合成等研究内容的纽带,是个年轻的学科,且有很多的领域处于研究的空白区域......
研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性.结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全......
Removing photoresist that has been heavily im-planted by one or more species continues to be acritical process step in t......
美国斯坦福大学(Stanforduniversity)的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级(Wafer-scale)剥离(Lift—off)工艺,能在可重复使用的硅晶圆......
美国斯坦福大学(Stanford University)的研究人员近日开发出一种创新的晶圆等级(wafer—scale)剥离(lift-off)工艺,能在可重复使用的硅晶......
动机及ViPR工艺概况近期,业界在减少制造过程中晶圆表面硅和氧化硅的损耗总量方面已经做出了较大的努力,硅在工艺中的损耗可能会导致......
在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在......
针对倾斜煤层的特点,对比连续工艺、半连续工艺及间断工艺等的优缺点,着重分析了半连续工艺和间断工艺各自完成的剥离量;选择较经......
研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性.结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全......
本实验中首次采用铜材料作为声表面渡驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。......
研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图......
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆......
给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风......
为了优选出经济合理、技术可行的露天矿剥离工艺,根据露天剥离工艺影响因素,建立基于层次分析法的露天剥离工艺比选指标体系,并应......
研制单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所产品介绍:JBQ-3100型自动金属膜剥离机,针对国内声表面波(SAw)器件制造过程中金属膜剥离......
为了保证露天煤矿的原煤生产能力,提高拉斗铲的作业效率,在对拉斗铲单区作业时间及拉斗铲生产能力的统计数据做出详细分析的基础上,得......
本文介绍了一种在MEMS磁传感器中利用剥离工艺制作斜面barber电极的技术。通过研究曝光量、PEB温度和PEB时间对负胶倒角的影响得到......
论文以霍林河一号露天矿扩建工程开采工艺的优化为例,分析了单斗一卡车工艺向半连续工艺过渡的技术、经济可行性,得出了半连续工艺是......
宁波墨西科技有限公司千吨级石墨烯生产项目——首期300t/a石墨烯生产线正式建成投产,该生产线采用插层剥离工艺生产多层石墨烯,产品......
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同......
根据布沼坝露天煤矿五期扩建剥离工作需要和泥灰岩剥离特点,提出新增半连续工艺与原有连续工艺系统的四种配合方式:独立布置、联合......
针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量......
表面传导电子显示(SED)的关键部分是下基板(即阴极板)的制作,而阴极板上薄膜电极的质量直接影响了阴极电子发射的性能。本文研究了采用......
我国铝矿开采现状我国铝工业自解放以来,从无到有得到很大发展。铝矿开采自1954年开始,产量大幅度增加,1979年的产量约为1954年的......
根据平朔东露天矿地形地质特征、岩层、煤层的赋存特点和气候条件等,分别针对上部松散层(黄土层)、4号煤层以上岩石层、煤层间岩石层......
研究了AZ-1350胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术,并对一些机理性问题进行了讨论。......