【摘 要】
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微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有 :体积
【机 构】
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太原重型机械学院,太原重型机械学院 030024,030024
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微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有 :体积小 (特征尺寸范围为 :1μm～ 10mm)、重量轻、耗能低、性能稳定 ,惯性小、谐振频率高、响应时间短。1.?
Micromachined or microelectromechanical systems are micro-devices or systems that combine micro-mechanisms, micro-sensors, micro-actuators and signal processing and control circuits, and even peripheral interfaces, communication circuits and power supplies. Its main features are: small size (feature size range: 1μm ~ 10mm), light weight, low energy consumption, stable performance, low inertia, high resonant frequency, short response time. 1.?
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