AL2O3薄膜相关论文
随着我国航空航天事业的蓬勃发展,对飞行器的发动机等关键部位的实时温度监测需求越来越多。声表面波传感器（SAW）具有结构小、性能优......
钒的氧化物具有对温度敏感的半导体-金属可逆相变特性.在多种钒氧化合物中,VO2的相变温度点约为68℃,适用于很多应用领域.VO2长期......
在太阳能光热发电系统中,太阳能选择性吸收薄膜主要沉积于其关键部件——聚光集热器表面实现光/热转化,因而不仅需具有高的光热转......
Al2O3薄膜具有许多优良特性,如宽禁带、高介电常数、高硬度、耐磨性好等,集光、电、机械性能于一体,具有非常广阔的应用前景,广泛......
Al2O3薄膜有着极其优良的光学、物理化学等性质,极大地引起了科研人员的研究兴趣.本文简述了Al2O3薄膜性能、应用领域以及制备方法......
稀土三基色紧凑型荧光灯即节能灯,与白炽灯相比具有高光效、低能耗、长寿命等优点,但它同时也存在一个未被重视的问题——紫外线辐......
采用反应射频磁控溅射技术,通过调整溅射靶面上金属Er和Yb的面积比例制备出了不同Yb含量的Er/Yb共掺Al2O3薄膜,重点探讨了薄膜制备......
以仲丁醇铝(ATSB)为前驱物、氮气为载气,用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40钢表面沉积了Al2O3薄膜.采用光学金相显微镜(OM)、......
期刊
利用原子层沉积法(ALD)在硫钝化后的n型InP表面沉积Al2 O3薄膜进行二次钝化处理.通过光致发光(PL)测试和原子力显微镜(AFM)测试对......
通过对不同退火条件下ErYb共掺Al2O3薄膜光致荧光(PL)光谱的系统分析,研究了高ErYb掺杂浓度所导致的晶体场变化对薄膜PL光谱的影响......
以纯铝为靶材，在不同氩氧比例下，采用直流反应磁控溅射方法制备Al2O3薄膜。利用X射线衍射（XRD）、能谱（EDS）、扫描电镜（SEM）和精密阻抗分析......
为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折......
采用中频反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Al2O3薄膜,提出了一种利用透射光谱来简单有效地分析弱吸收薄膜的光学特性及与光学相......
对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算......
针对氮化铝异质薄膜的制备，构建了两种AlN/Al 2 O 3（0001）材料生长模型，采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法，对α-Al 2 O 3（0001）......
以纯铝为靶材,在不同溅射气压下采用直流磁控反应溅射方法制备了Al2O3薄膜.用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）、X射线衍射仪（XRD）、台阶仪、......
研究了以异丙醇为主要原料，异丙醇为溶剂，添加乙酸乙酯作为螯合剂，利用溶胶－凝胶法在碳化硅表面浸涂厚约0．5μm的Al2O3多晶膜。用XRD，IR，S......
以异丙醇铝为原料,采用溶胶凝胶法和浸渍提拉技术在玻璃载片上进行涂膜并考察了溶剂中乙醇含量对Al2O3膜结构及性能的影响。结果表......
通过采用溶胶-凝胶法在硼酸铝晶须表面制备Al2O3薄膜来改变硼酸铝晶须的表面化学性质,系统研究了Al2O3溶胶达到稳定的适宜工艺条件......
铝及铝合金具有良好的耐蚀性、较高的比强度、易加工成形、无磁性、无低温转变、导电及导热性好等众多优点，在航空、航天、汽车、机......
作为民用第三代新光源的紧凑型荧光灯,即节能灯,是照明光源的发展方向之一.但由于其发光原理导致的较强紫外线辐射却一直是一个危......
采用射频磁控溅射法在40Cr基体上制备了非晶态Al2O3薄膜,并研究了工艺参数（溅射功率,工作气压,溅射时间）、预处理工艺以及中间层对薄......
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限，须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传......
以无机盐Al（NO3）3·9H2O为先驱体、水为溶剂，加入不同浓度的胶溶剂HNO3，采用溶胶-凝胶（Sol-gel）法制备了勃姆石（γ-AlOOH）溶胶。分别以......
为了研究衬底温度对Al2O3薄膜表面形貌和绝缘性的影响,用奥氏体不锈钢作衬底,在不同温度下用直流反应磁空溅射法直接衬底Al2O3薄膜......
采用直流磁控溅射镀膜技术以高纯铝为靶材,氧气为反应气体,在304不锈钢基底上以不同溅射功率(60,90,120,150和180 W)沉积Al2O3薄膜......
Al2O3具有较高的硬度和耐磨损性,良好的热传导性、光学透过性以及化学稳定性,广泛应用于光电器件、机加工业和航空航天等领域。常......
现代航空工业的发展推动着航空发动机设计的不断改进与优化。其中航空发动机的涡轮叶片作为发动机的核心关键部件,工作在高温、高......
随着磁性材料的广泛应用,新型磁致伸缩材料的发现使磁致伸缩材料应用成为可能,磁致伸缩材料的研究受到广泛关注,其中以FeGaB薄膜为......
采用ISG(Inorganic Sol-gel)工艺的浸渍涂覆技术制备γ-Al2O3多孔膜,探讨了薄膜的制备条件及影响因素,重点研究了浸渍提拉技术中提......
以三甲基铝（TMA）和水为反应源，采用原子层沉积（AID）技术在n型单晶硅表面沉积15nm、30nm和100nm的Al2O3薄膜，并对样品进行快速退火（RTA）处理......
简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄......
采用中频磁控溅射离子镀技术制备了Al2O3薄膜,采用反应溅射控制器测定了不同氩分压与靶功率下的靶电压迟滞回线,采用X-射线衍射仪......
摘要：采用电沉积-热解法在304不锈钢表面沉积了Al2O3薄膜，研究了电解液浓度、电沉积电压对Al2O3薄膜900 ℃抗高温氧化性能的影响。表......
以α-Al2O3为靶材，采用射频磁控溅射法制备了非晶Al2O3薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、划痕仪、表面粗糙轮廓仪和阻抗仪研究了不......
采用原子层沉积技术（ALD）进行Al2O3薄膜工艺研究,获得85℃低温Al2O3薄膜ALD的最佳工艺条件。使用椭偏仪测试厚度,使用扫描探针显微镜......
提出了一种在常温下通过简单的恒电流阳极氧化制备Al2O3薄膜构建金属-介质-金属（MIM）结构电容器的方法,通过控制阳极氧化时间制备出......
以异丙醇铝为前驱体，HNO3为胶溶剂，采用溶胶-凝胶法制备Al2O3膜。考察HNO3浓度对溶胶及薄膜的影响，通过 TG-DTG，XRD，AFM，BET 等表征手段......
为了改善Al2O3薄膜的制备工艺,本文以硝酸铝为前驱体,采用溶胶-凝胶法,通过研究不同添加剂对溶胶性能的影响,最终选择引入甲基纤维......
高能氩离子束溅射金属铝靶,沉积在SiO2基片上的非晶薄膜是Al和Al2O3的混合物.非晶薄膜在空气中800～1000℃退火后将完全氧化并晶化而......
以高纯铝为靶材,在不同氧氩比例下,采用直流反应磁控溅射法制备了Al2O3薄膜。用F-4500型荧光分光光度计测量其荧光光谱,观察到416 ......
采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层Al2O3薄膜和含有HfO2中间层的HfO2/Al2O3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进行1 h 6......
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作为第三代半导体材料,宽带隙透明氧化物半导体材料由于其优良的光电特性,一直吸引着研究人员浓厚的研究兴趣,并在透明薄膜晶体管......
氧化铝（Al2O3）薄膜具有许多优良的物理化学性能，在机械、光学及微电子等高科技领域有着广泛应用，一直受到人们的高度关注。但Al2O3具有......
随着纳米光学和纳米光电子器件的兴起,激光器器件尺寸不断减小,性能不断优化。但是在电流泵浦模式的设计过程中,金属电极的放置位......
烧结NdFeB磁体以其优异的磁性能被广泛应用于电子、计算机、汽车、机械、医疗器械等各个领域。但磁体易腐蚀的缺点限制了其进一步......
为了获得Al2O3薄膜的光学常数,采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9......
应用基体渗铝+选择性氧化法制备由FeAl合金过渡层及其表面Al2O3薄膜组成的FeAl/Al2O3阻氚涂层是当前防氚渗透技术的首选,Al2O3薄膜......
