微构件相关论文
叙述了用声波激振、光纤耦合测量硅微构件杨氏模量的方法,测量了薄膜微构件的硬度,并对微结构材料冲击韧性的测量装置进行了研究。......
随着MEMS的发展,微构件材料力学性能研究越来越受到国内外研究人员的重视,但是目前测试所得微构件材料的力学性能参数分散性很大,......
MEMS是一门多学科交叉的新兴技术,近年来得到了迅速发展,并已在航空、航天、军事、医疗、生物、交通、仪器等众多领域得到应用.该......
微机电系统(MEMS)是近几年迅速发展起来的一个研究热点。微观力学是MEMS研究中的关键问题之一。考虑到很多微型机械构件是在带电条件......
高精度惯性传感器件是航空、航天飞行器中惯导系统的核心部件,其中关键微构件的使用性能直接决定惯导系统的导航精度。该微构件成对......
为满足超声辐射力理论研究与超声微操纵技术实际应用的强烈需求,本文结合国家自然科学基金项目《基于三维可控超声辐射力场的微构件......
随着MEMS的发展,在产品设计、加工、封装及性能和可靠性测试中,不可避免地遇到了大量的力学问题。但是,针对MEMS应用中微尺度条件下的......
MEMS器件在不同的温度环境下的性能和响应特性是不同的,基于微加工技术指导的MEMS传感器件,已经应用于飞机、军事等装备制造业。ME......
微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是基于纳米科技发展起来的新兴前沿技术。在微米量级和纳米量级时,微构件的设计理论和传统机......
为实现微操纵装配过程中微构件的静动态状况的高精度实时监测,推动非接触式微机器视觉检测技术的发展,本文结合国家高科技研究发展......
随着微纳技术的迅速发展,微构件机械的力学特性数据对MEMS结构设计具有重要的影响。传统结构材料的宏观力学性能测试系统不能适用......
随着MEMS的商业化进程,微构件材料力学性能的研究成为越来越重要的一个课题.微小试件的制备、安装、夹持、微驱动、高分辨率的载荷......
微构件材料力学性能测试中,拉伸测试主要解决材料弹性模量、泊松比、屈服强度和断裂强度的测量问题。介绍了一种片外拉伸测试试验装......
在介绍悬臂梁法测量微构件弹性模量原理的基础上,分析了测量和评价过程的主要不确定因素,将模糊数学方法引入弹性模量的评价过程.......
纳米摩擦学的研究结果表明,对于MEMS系统,摩擦力是最主要的牵引力和驱动力;摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的......
随着机械的微型化,人们所面临的科学问题--尺度效应的主要特征为:(1)微构件本身材料的物理特性的变化;(2)在传统理论中常常被忽略了的表面力此......
微齿轮是一种重要的微机械传动构件,具有重要的应用价值.作为一个全新的研究领域.国内外在微齿轮的基础理论研究方面还未见系统深......
公差反映功能要求和制造要求,是产品实现批量生产和商品化的前提.在介绍微构件制造特点及功能特征的基础上,描述了微尺寸和功能公差的......
基于信息论通信系统原始模型构造了由信码、动作和目标刻画的三维领域概念模型,给出了领域的精确定义.提出用于构造任意构件的基本......
分析了微悬臂梁的挠度与载荷、微悬臂梁的长度、宽度的力学关系.提出了一种改进的BP神经网络算法,并用该算法进行挠度与载荷在不同条......
采用VC++集成环境和OpenGL技术开发了面向微构件特性评价的分子动力学模拟软件系统(MDIS)。MDIS模拟系统可以实现微构件的纳米切削加工......
微电子机械系统中的微构件如定子、转子,结构尺寸微小,一般在数百微米量级。制造微构件的材料主要是硅,硅具有优良的机械性能,能够......
微型机械近几年来发展迅速,随着微细加工技术的发展,部分正进入实用化阶段,如采用表面硅基技术加工的微型电机、微型泵等,欲真正进......
对微构件力学性能测试的微力微位移装置的重要组成部分--大位移高分辨率加载机构进行了研究.根据微力微位移装置的要求,提出了一种......
阐述了微构件力学性能的研究现状与存在的力学性能参数表征问题,而后重点介绍了微构件力学性能测试中相关的驱动方式、微位移检测和......
根据微机械中构件与构件、微操作中操作工具与操作对象在执行功能动作时的相互作用关系特点,以及微观情况下微观力与构件间距及特......
叙述了利用悬臂梁和两固定梁微构件进行硅微薄膜材料的弹性模量和残余内应力的测试方法。本方法利用简单的光学装置,通过测量悬臂梁......
电磁驱动式微拉伸装置是评价微构件材料力学性能的有力工具,其中数据的采集、处理和分析是得到材料性能的重要过程。通过A/D采集板(......
电磁驱动微拉伸装置是测试和评定微构件拉伸力学性能的一种较精确的仪器.通过分析该装置测量微构件材料力学性能的原理,提出采用高......
实验发现微构件的力学性能存在尺度效应,传统力学模型无法解释这一现象。该论文基于高阶应变梯度理论构建了一种针对微构件在三点......
为了能精确地测试和评定微构件的力学特性,需研制微拉伸装置。本文对电磁-线圈力驱动器的结构和参数进行了优化设计,并将其应用于微拉......
为满足对微构件进行操纵的需求,在分析现有各种操纵方法的基础上,利用超声波良好的特性和具有的力学特点,采用DSP为中心测控单元,F......
设计了一套微构件拉伸测试辅助引导对中测量系统,该系统以激光准直特性为基础并结合折反射定律,采用正交二维相机获得包含平移和角偏......
为了将超声辐射力应用到微机电系统领域,以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的,开展了三维超声辐射力场合成的理论与实验研究......
介绍了适用于金属微构件处理的激光微喷丸技术,通过控制工艺参量和合理的路径规划,在试件表面产生有益的残余压应力分布,能有效提......
为了将超声波俘获技术应用到微机电系统中,以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的,开展了微构件在超声波场中所受辐射力的理......
介绍了微型机械的发展方向,微构件的服役性能与其制备工艺之间的关系,说明此项研究的重要理论和实际意义,并进行了一些初步试验.开展对......
首先建立了微构件的热注射近净成型的数学模型,讨论了参数变量的控制。通过数据分析找到了参数的最佳控制范围,达到微构件的热注射近......
微观黏滑和黏附失效是微机电系统中的常见现象,该现象主要是由于受包括静电力、范德华力及毛细力等各种表面力所起的主导作用而产......
归纳了微电子机械系统中多晶体材料微构件在微塑性加工和应用中其力学性能所表现出来的尺度效应及其多种尺寸关联的主要特征,介绍了......
许多微观实验表明,当变形特征长度在微米或者亚微米量级时,材料表现出强烈的尺寸效应。经典理论的本构关系中不包含任何尺度参数,......
回弹是影响弯曲成形精度的一个重要因素,由于尺度效应的存在,微构件的弯曲回弹问题更复杂。利用动态显式与静态隐式算法相结合的方......
设计了一种能够同时实现施加交变载荷和拉伸的力学性能测试装置。介绍了测试装置的工作原理和系统组成:用于测量拉伸载荷的力传感器......
随着微电子、微机电系统、精密光学等技术的发展,在产品的设计、制造、性能测试与可靠性评价中,不可避免地遇到了大量的力学问题。......
随着纳米科技的飞速发展,对微纳米零件的需求越来越多,同时对其使用性能也提出了很高的要求。受表面效应、量子效应、小尺度效应的影......
三维复杂形状的金属微构件的微细加工一直是微机械研究的重点和热点,近年来涌现出许多的加工工艺,比较而言,微精密铸造工艺在高效......