高精度惯性传感器件是航空、航天飞行器中惯导系统的核心部件，其中关键微构件的使用性能直接决定惯导系统的导航精度。该微构件成对使用，其特征尺寸在微米量级，要求力学性能稳定、一致性好。目前，微构件的检测流程仅仅对该微构件的几何量（尺寸精度及形位精度）进行检测，忽略了微构件力学性能的检测，而微构件的力学性能直接决定了惯导系统的使用性能、成品率和可靠性。目前国内外相关研究均存在一定局限性，测试装置没有统一的标准，测试数据分散性大。因此，本课题以微构件力学性能的测试技术为切入点对惯导系统关键微构件的综合力学性能测试的相关问题展开研究。本文针对具有微槽结构的薄壁微构件的力学性能测试要求，确定微构件力学性能测试系统的总体功能及设计指标，完成装置总体方案的设计，采用模块化的设计思想，将装置总体分为微拉伸测试系统、动态测试系统、原位观测系统、信号采集与控制系统及机械辅助系统等五部分，并对测试装置机械部分进行搭建与调试。针对关键的精密驱动单元，进行建模及理论计算，并利用ANSYS进行校核和结构优化。本文提出微构件测试装置控制系统的总体方案；在控制系统硬件上，采用工控机及各PCI板卡的组合作为控制核心，对硬件进行选型，完成电气系统的设计、搭建及调试工作；在软件上，基于VB语言设计了力学性能测试软件，通过调用动态链接库(DLL)的方法，实现工控机对硬件I/O端口访问以及各PCI板卡的功能的集成，最终实现对整个测试过程的控制。在上述基础上，分别针对测试装置的实验技术和微构件力学性能测试实验技术展开研究。测试装置的实验技术研究包括：力传感器力-电压标定、力传感器力-位移的标定、精密驱动单元的相关特性测试等研究。微构件力学性能测试的相关实验研究包括：进行待测试件的设计与制备，对待测试件进行相关力学性能测试，并通过对测试结果的分析，验证测试系统的可行性与可靠性；通过实验结果的对比，分析微细铣削加工对微构件的力学性能的影响；在原位观测系统辅助下观测微构件拉伸过程中的形貌变化，对其断裂机理进行探究；对动态测试系统的功能进行验证，并对微构件的疲劳特性进行探究。