【摘 要】
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MEMS器件在不同的温度环境下的性能和响应特性是不同的,基于微加工技术指导的MEMS传感器件,已经应用于飞机、军事等装备制造业。MEMS传感器件是利用微机械加工技术和微电子工艺技术制作的。MEMS传感器件主要通过微构件的微小位移或变形来实现测量功能,其微构件的谐振频率等动态特性在很大程度上决定了器件的性能。研制和开发微构件在高温环境下动态特性的实验测试装置,对测试微构件动态特性及其随温度变化规律的
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MEMS器件在不同的温度环境下的性能和响应特性是不同的,基于微加工技术指导的MEMS传感器件,已经应用于飞机、军事等装备制造业。MEMS传感器件是利用微机械加工技术和微电子工艺技术制作的。MEMS传感器件主要通过微构件的微小位移或变形来实现测量功能,其微构件的谐振频率等动态特性在很大程度上决定了器件的性能。研制和开发微构件在高温环境下动态特性的实验测试装置,对测试微构件动态特性及其随温度变化规律的研究有着重要的意义,对于MEMS微器件的可靠性和稳定性具有指导意义。开发了基于高温环境的MEM
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