微位移检测相关论文
为完善超声电解同步复合微器件微细加工试验系统，设计了微位移工作台和超声阴极工具头微进给机械结构，提出了相应的微位移检测和进给......
随着MEMS惯性传感器件对微位移检测精度的要求越来越高, 微位移检测技术已经成为MEMS惯性传感领域的研究热点。亚波长光栅以其超高......
二十世纪下半叶以来科学技术日新月异的进步，使人们对生命的认识逐步从器官、组织水平深入到细胞、分子水平。生物传感成为当代科学......
轴对称型金属弹簧海洋重力仪在动态测量中不可避免地要受到载体扰动加速度的影响,以中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研制......
作者完成了一套基于运算放大器的高分辨率、高精度压电驱动电源设计方案,针对压电陶瓷驱动器的高电压输出和大电容负载特性进行了......
随着人们对微观领域研究的深入,面向微/纳米级对象的应用迅猛发展.在微型MEMS零件装配、光纤对接及生物细胞操作等各个领域迫切需......
随着科学技术的发展和人们研究领域的不断拓宽,操作对象已从宏观领域扩展到微观领域.为完成显微外科、细胞操作、超精密加工及测量......
该文研究和探索了利用图像处理技术实现在弹性元件刚度检测中对微位移的测量方法.以弹性元件的刚度测量为对象,采用CCD传感器为转......
快速摆动镜（Fast Steering Mirror，简称FSM）控制系统是一种精密光束跟踪技术，与大口径机架共同构成复合轴跟踪系统，能够实现大摆角范围......
设计一种采用双波长正交解调技术的光纤法珀检测系统，可用于微位移的检测．系统使用1×2密集波分复用器产生两路处于正交状态的输......
在工程领域常常需要对一些相对微小的位移尺度进行测量。针对微位移检测的问题提出基于PCap01的差分电容测量微位移检测系统。介绍......
详细阐述了汽车轮毂跳动量测量机控制系统的设计方案及基本工作原理,根据控制系统要求对系统的外设接口进行了分配,通过对MC9S12DP......
将中科院合肥智能所机器人传感器实验室的多维力传感器技术与TI公司新推出的MSC1210单片机相结合，可实现机器人对微小位移的高分辨......
微操作器是微操作机器人的核心部件,本文介绍了作者研制的压电陶瓷管驱动三自由度集成式微操作器,在此基础上,研制了微位移控制系......
阐述了微构件力学性能的研究现状与存在的力学性能参数表征问题，而后重点介绍了微构件力学性能测试中相关的驱动方式、微位移检测和......
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阐述了微构件力学性能的研究现状与存在的力学性能参数表征问题，而后重点介绍了微构件力学性能测试中相关的驱动方式、微位移检测和......
为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量，提出了一种频分复用的微位移检测原理，主要介绍了多频率信号发生器，前置放大器，锁相放大器......
静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来，对基于MEMS......
涡流传感器具有对介质不敏感、非接触的特点，广泛应用于金属检测中。本文研究一种基于调频式涡流传感器的金属微位移检测电路，采用最......
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基于压电陶瓷驱动的纳米扫描和定位系统,是原子力显微镜系统的关键部件。设计了基于电阻式应变传感器(SGS)的压电陶瓷微纳米位移定......
为了满足出口轮毂符合欧美国家检测标准,研制了汽车轮毂跳动量测量机。介绍了基于测量机上的跳动量检测系统,分析了跳动量测量的3......
由于电子集成元件的管脚朝着多且细的方向发展,管脚偏移检测要求提高,一般的检测方法不能满足这样高的精度.本文研究了采用光电自......
微位移技术是精密定位、精密仪器加工制造、精密测量等应用领域中的关键技术之一,在尖端的工业生产领域和科学研究中占有极其重要......
随着微纳技术的孕育兴起,人们探索世界客观事物规律的视角逐渐从宏观领域走向微观领域,该技术的发展与精密测量技术密不可分。微视......
随着天文学和科学技术的发展，需要研制高分辨率、大视场、宽波段的天文望远镜。由于大气扰动效应、色散效应、臭氧对紫外线的强烈吸......
尺蠖压电驱动器具有大行程、高精度、大输出力、快速响应、无磁场影响等优点,在超精密定位领域具有广泛的应用前景。而行走式尺蠖......
随着微电子机械系统(MEMS)惯性传感器件对微位移检测精度的要求越来越高,微位移检测技术已经成为惯性传感领域的研究热点,亚波长光......
静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来,具有极高的工作寿命,可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的......
