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叙述了利用悬臂梁和两固定梁微构件进行硅微薄膜材料的弹性模量和残余内应力的测试方法。本方法利用简单的光学装置，通过测量悬臂梁和两固定梁的一阶谐振频率，分别求弹性模量和残余内应力。本方法测量系统简单，试样制作方便。本试验获得（１００）面〈１１０〉方向单昌硅微薄膜的弹性模量为１２８ＧＰａ，残余内应力为７４．７ＭＰａ。