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为了将超声波俘获技术应用到微机电系统中,以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的,开展了微构件在超声波场中所受辐射力的理论研究.计算机仿真结果表明:微构件的材料与尺寸、介质的密度、超声波的声学参数等都对微构件所受辐射力产生影响,同时,利用超声驻波场技术实现对微构件的操纵是可行的.
微构件所受超声辐射力理论研究
【摘 要】
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为了将超声波俘获技术应用到微机电系统中,以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的,开展了微构件在超声波场中所受辐射力的理论研究.计算机仿真结果表明:微构件的材料与
【机 构】
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浙江大学现代制造工程研究所
【出 处】
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工程设计学报
【发表日期】
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2004年6期
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