亚表面损伤相关论文
在CFRP/Ti叠层构件制孔加工过程中,两种材料之间不可避免的存在相互影响,尤其是钛合金会对CFRP的制孔过程产生影响。首先,为研究CF......
学位
单晶硅由于良好半导性能及红外光谱特性,使其广泛应用于集成电路及红外光学系统中。高质量表面及无亚表面损伤的硅晶片需求日益增......
随着各种玻璃陶瓷体系不断被研究完善,玻璃陶瓷已然成为当前最具发展潜力的陶瓷材料之一,白榴石玻璃陶瓷具有较高的机械强度、断裂......
石英玻璃凭借强度高、耐磨性好、热膨胀系数低等优异的物理性能,在高能激光器、特种光源、半导体等行业应用十分广泛。石英玻璃在......
镍基单晶高温合金具备优良的耐高温特性,作为目前制造航空发动机和燃气轮机叶片的主要先进材料,能大幅度地提高其高温强度和工作寿......
单晶硅晶圆广泛应用于集成电路制造领域。超薄晶圆是实现硅通孔三维(TSV-3D)封装技术、提高芯片集成度的必要条件。超精密磨削凭借高......
近年来,碳化硅作为第三代半导体材料,因其密度适中、耐热冲击性好、抗辐射能力强等一系列优良的物理性质以及良好的化学稳定性而得......
将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程,基于压痕断裂力学理论......
为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单......
光学元件的亚表面损伤指的是在加工过程中产生的划痕和裂纹等。在激光的照射下,亚表面损伤会使光场发生变化,并且随着激光照射时间的......
微晶玻璃具有机械强度和硬度高、耐磨性好、化学性能稳定以及热膨胀系数可调等优异性能,在国防、化工、建筑和医疗等领域有着广泛的......
为提高空间反射镜分辨率而不断增大反射镜口径,导致发射成本大幅增加,镜体背部支撑结构优化减薄和镜面面型精度保证都需要后续机械......
在传统光学加工过程中产生的亚表面损伤(SSD)会降低光学元件的使用性能和寿命,需要对其亚表面损伤进行检测从而在加工过程中加以控制......
亚表面损伤(SSD)的系统表征和准确检测是控制光学材料加工表层损伤的关键。将SSD的表征方法和检测技术相结合,综述了光学材料SSD检......
基于激光热裂纹控制法,提出了多焦点激光分离厚透明材料的方法。通过理论计算与ZEMAX软件模拟相结合的方式,设计了能形成三个焦点......
自由基等离子体源(Radical Plasma Source,RPS)在反应区之外合成等离子体,然后在电场、磁场、气流的作用等将等离子体引入反应区,......
近年来,纳米多层材料由于其独特的物理结构和优异的力学性能,被广泛应用于微电子机械系统、医学高分子材料、航空航天等民用及军用......
由于光学石英玻璃具有一系列的优良特性,在精密仪器仪表等高端制造领域有着较为广泛的应用,然而其硬脆的物理特性,在加工过程中容......
SiC陶瓷具有诸多优异的性能,在汽车、国防等领域有着非常广泛的应用。但由于其高硬脆性及高耐磨性等特性,磨削加工过程会造成严重......
单晶氧化镓(β-Ga2O3)作为新一代半导体材料,其具有超宽禁带、高击穿场强、导电性能优异和深紫外波段透射率高等优良物化特性,在高频......
SiC碳化硅(Silicon Carbide)与K9光学玻璃(Optical Glass)等脆性材料具有高强度、高硬度、耐腐蚀等优良的物理与力学特性,被广泛应......
先进陶瓷材料被广泛的用于新一代空对地光学信息收集系统中,应用这种材料的光学系统具有良好的热稳定性和高的刚度/重量比。碳化硅......
随着高功率激光系统和大型光学系统的发展,对于光学元件的稳定性、成像质量、镀膜质量和抗激光损伤阈值等性能指标要求更加严苛,而......
随着现代光学事业的迅速发展,超精密光学产品已经广泛应用到了各种高新技术行业,尤其是大尺寸光学元件在航空航天等领域有大量的需......
基于激光晶体的光学元件是大功率光学工程中的基础性元器件,其激光损伤阈值极大地决定了整体系统的寿命,极限性能和稳定性等。然而......
蓝宝石晶体具有强度高、硬脆性大、耐高温、耐化学腐蚀、抗磨损等优良性能,在半导体照明、国防军工、航天航空和智能穿戴消费电子......
微晶玻璃是一种同时具有玻璃相和晶相的多晶脆性材料,具有膨胀系低、硬度大,耐磨性好,机械强度高,热稳定性优良等特点,在航空、航......
随着光学技术的发展,具有超光滑表面的平面光学元件应用越来越广,传统抛光技术大多存在效率低,加工质量难以控制,难以满足大批量、......
第三代半导体GaN晶体,由于其特殊的物理、化学及良好的光学性能,在航空航天、探测、卫星等先进领域应用越来越广泛,因此对该晶体无缺......
单晶蓝宝石是一种综合性能优良的多功能晶体材料,广泛应用于各个领域,随着各领域产品性能的提高对单晶蓝宝石的加工要求也越来越高......
光学元件的亚表面损伤降低了光学材料的性能,直接影响光学系统的重要功能指标,阻碍其进一步发展。基于光散射法的激光共焦显微检测......
在频域光学相干层析(Spectral Domain Optical Coherence Tomography,SDOCT)系统中,为了在横向和纵向两个方向均获得高的分辨率,需......
近年来,伴随着光电子技术、航空航天技术、原子能技术以及激光技术等尖端科技的迅猛发展,对光学元件的性能要求也越来越高。由于光......
光学玻璃具有稳定的物理、化学性能及高度光学均匀性,因此广泛应用于相关工程领域,但其高脆性、低断裂韧性的特点降低了光学玻璃的......
工程陶瓷、光学玻璃等脆性材料具有较好的物理与力学性能,它们已被广泛地应用于航空航天、微电子机械等领域。然而,由于脆性材料的......
综述了近五年来为神光装置研制大口径熔石英采样光栅所取得的主要进展。提出了大尺寸采样光栅的化学机械抛光技术,将全息光刻-离子......
精确测量出每道加工工序残留的亚表面损伤深度值是达到光学元件加工质量要求的前提保证。通过磁流变抛光斑点法测量几种常用的加工......
散粒磨料研磨与固着磨料研磨是光学研磨加工过程中的两种主要手段,但两者材料去除的机制不同。目前针对高功率固体激光装置中的主......
蓝宝石单晶(α-Al2O3)具有卓越的物理化学性能、制造成本较低、易获取等诸多无法替代的优异特性被广泛应用于航空航天、武器装备、......
摘要:为了进一步揭示超声振动辅助磨削加工机理,建立了超声振动辅助磨削亚表面损伤深度与断裂韧性的预测模型,设计几何形状随机的单颗......
针对游离单颗磨粒与光学元件滚动接触过程中摩擦、磨损机理分析的不足及如何有效控制滚动单颗磨粒对光学元件亚表面损伤的影响等问......
针对目前光学镜片磨削加工时仿真模拟接触模型过于简化的问题,充分考虑不规则磨粒与光学镜片间存在的点、线、弧三种接触状态,分别......
针对光学元件加工过程中产生的亚表面损伤(SSD),回顾了几种SSD表征技术以及材料去除机理,通过实验重新评价不同材料的公式可行性,分......