亚表面损伤深度相关论文
纳米氧化锆陶瓷作为典型的硬脆材料,因具有良好的物理特性与力学性能被广泛应用于国防与生活中。由于脆性材料的高硬度、低韧性特......
针对光学材料研磨过程引入的亚表面损伤层（SSD）深度对工件的抛光工序效率和表面质量的影响,探索了光学材料在研磨过程中的亚表面损伤......
集成电路(Integrated Circuit,IC)芯片是电子信息领域的核心器件,是信息技术发展的基础。单晶硅作为IC芯片制造的主流导体衬底材料......
硅片表面的完整性是影响集成电路(IC)器件的性能、成品率以及寿命的重要因素,随着硅片直径的增大和IC线宽的减小,对硅片表层质量的......
