【摘 要】
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本文介绍一种与AES技术兼容的ISS薄膜分析器,并指出两者兼容时对仪器所必须采取的各种重要措施。最后的实验结果表明:用ISS薄膜分析器可以实现对超微薄膜(薄膜厚度仪25(?))的
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本文介绍一种与AES技术兼容的ISS薄膜分析器,并指出两者兼容时对仪器所必须采取的各种重要措施。最后的实验结果表明:用ISS薄膜分析器可以实现对超微薄膜(薄膜厚度仪25(?))的深度分析,从而克服了AES技术所难以解决的困难,为薄膜分析提供了新的重要分析手段。
This article presents an AES-compatible ISS membrane analyzer and points out the important measures that you must take to get the instrument compatible. The final experimental results show that the ISS thin film analyzer can realize the depth analysis of the ultrathin film (25 (?)), Which overcomes the difficult problems that the AES technology can not solve and provides a new important analysis for the thin film analysis means.
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