多层膜样品的背散射／沟道、溅射剥层／背散射和二次离子质谱分析

来源 :复旦学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：aquabluesky

【摘要】

：

用背散射/沟道、溅射剥层/背散射和二次离子质谱方法分析了分子束外延生长的Si/GexSi1-x多层膜.由2 MeV4He+离子背散射/沟道分析,确定了外延生长薄膜的厚度、组分和晶格结构

【作者】

：

赵国庆姜蕾宋玲根杨宇孙耀德周筑颖

【机构】

：

复旦大学现代物理研究所应用离子束物理实验室,复旦大学材料科学系国家微分析中心,云南大学物理系

【出处】

：

复旦学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

多层膜背散射沟道溅射剥层二次离子质谱分析 ion beam analysis Ge/Si multilayer sample backscatter

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用背散射/沟道、溅射剥层/背散射和二次离子质谱方法分析了分子束外延生长的Si/GexSi1-x多层膜.由2 MeV4He+离子背散射/沟道分析,确定了外延生长薄膜的厚度、组分和晶格结构的完美性;用低能Ar+离子溅射剥层,减薄样品外延层厚度后,再做背散射分析,可获得有关较深层薄膜与基体界面和溅射剥层的信息;二次离子质谱分析清晰地显示出溅射剥层前后样品的交替层周期性结构.

其他文献

对传统生物多样性指数的质疑

如何保护生物多样性是当今生命科学中一个急需要解决的热点问题. 而物种多样性指数的计算又是定量评价生物多样性现状和为其保护实践活动提供理论依据的重要工具. 研究发现,

期刊

生物多样性物种多样性指数计算公式种群biodiversityspecies diversity index calculation equation

妈妈，谢谢你的好文章——《孤独的孩子，母爱的心湖回响泣血的琴声》续篇

<知音>2001年6期下月版刊发了<孤独的孩子,母爱的心湖回响泣血的琴声>一文,讲述了华中科技大学水电系普通工人、不懂音乐的单身母亲吴章鸿,含辛茹苦将儿子吴纯培养成"钢琴天

期刊

琴声钢琴音乐天才孤独母爱文章留学儿子母亲

输卵管妊娠腹腔镜下保守手术治疗78例临床分析

目的探讨输卵管妊娠腹腔镜下保守治疗的临床价值。方法对诊断输卵管妊娠的78例有生育要求需要保留输卵管的患者,采用腹腔镜下保守性手术治疗,先在输卵管系膜注射稀释后的垂体

期刊

腹腔镜输卵管妊娠保守性手术LaparoscopicTubal pregnancyConservative operatio

“中国风”与现代设计理念相结合的家具设计探究

中国古典家具曾在历史上创造了很多的辉煌.然而现在却不能流行于世界,我们需要将传统文化与现代理念相结合,创造出有创意、有文化内涵、有现代特征的中国家具.

期刊

中国元素现代设计理念文化内涵

具有特定孔道结构的分子筛骨架的设计

引入'禁区'的概念用于设计具有特定孔道的分子筛骨架结构. 在模拟中, 首先在某一设定晶胞中定义一个圆柱形禁区(类似分子筛中的孔道), 然后向禁区外投入独立T原子,

期刊

定向设计禁区分子筛骨架计算机模拟rational design forbidden zone zeolite frameworks compu

给2010年高考作文题排排座颁颁奖

一年一度的高考又结束了，大家最关心的还是作文命题。今年的作文题。命制得如何呢?请让我们来说一说吧。　　今年和去年一样，总共仍然有18套语文试卷，18道高考作文题。其中，河南、河北、广西、西藏共写全国卷Ⅰ的作文题；新疆、青海、云南、贵州、内蒙古共写全国卷Ⅱ的作文题：海南、宁夏、陕西、吉林、黑龙江共写新课标卷的作文题。　　综观全国各地的这18道作文题。我们可以发现以下几点变化：　　第一，新材料作文和命

期刊

高考作文题2010年颁奖作文命题命制

材料作文“机长的回答”导写及示例

【文题设计】　　阅读下面的材料，根据要求写一篇不少于800字的文章。　　每当飞机飞越在山脉中的一条溪流上空时，机长总会全神贯注地向下凝望，脸上充满了惆怅、回味、向往等复杂表情。　　有一次，副驾驶实在忍不住内心的好奇，问道：“机长，下面这个偏僻、荒无人烟的地方究竟有什么特殊的地方值得你如此关注？”　　机长从无限怅惘中回过神来，悠悠地答道：“看到那条蜿蜒的小溪了吗？当我还是一个孩子时，我常常来到这条小

期刊

材料作文副驾驶去哪儿陈一宝马车永远年轻开飞机采菊东篱下一对夫妻圆木

多层膜样品的背散射／沟道、溅射剥层／背散射和二次离子质谱分析

其他学术论文