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通过将三种透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide,TCO)薄膜材料,即掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)、掺硼氧化锌(ZnO∶B,BZO)和掺氟氧化锡(SnO∶F,FTO)薄膜放置于温度为85℃和相对湿度为85％的湿热环境中,研究其材料的湿热稳定性能。通过扫描电子显微镜、紫外-可见光分光光度计和霍尔效应测试分别研究不同TCO 薄膜经过湿热处理后的表面形貌和光电性能变化。