透明导电氧化物薄膜的研究进展

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【摘要】

：

综述了TCO薄膜的研究进展和应用前景.ITO薄膜是目前应用最广泛的薄膜,AZO薄膜是研究的热点,具有替代ITO薄膜的潜能.TCO薄膜因具有优异的光电性能而被应用在各种光电器件中,例

【作者】

：

王敏蒙继龙

【机构】

：

华南理工大学机电系

【出处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

TCO SnO2 In2O3 ZnO 制备方法应用前景

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综述了TCO薄膜的研究进展和应用前景.ITO薄膜是目前应用最广泛的薄膜,AZO薄膜是研究的热点,具有替代ITO薄膜的潜能.TCO薄膜因具有优异的光电性能而被应用在各种光电器件中,例如,平面液晶显示器,太阳能电池等.随着TCO薄膜制备方法的不断改进、成熟以及聚合物基TCO薄膜的开发,TCO薄膜将具有更广阔的应用和发展空间.

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