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简要介绍了聚焦离子束技术的应用范围和作用,综述了真空系统在聚焦离子束设备中的重要作用,聚焦离子束设备真空系统的主要组成以及设备达到的真空度.
聚焦离子束设备的真空系统
【摘 要】
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简要介绍了聚焦离子束技术的应用范围和作用,综述了真空系统在聚焦离子束设备中的重要作用,聚焦离子束设备真空系统的主要组成以及设备达到的真空度.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年4期
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