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[期刊论文] 作者：赵瓛,张彬庭,,
来源：电子工业专用设备 年份：2013
综述了硅基锗硅薄膜的外延生长技术、设备及其在光电子器件上的应用,其中着重介绍了超高真空化学气相沉积系统(UHVCVD)。目前来说,UHVCVD是产业化制备高质量锗硅材料的最佳选...
[期刊论文] 作者：彭志坚,张彬庭,,
来源：电子工业专用设备 年份：2009
聚焦离子束（FIB）是一种将微分析和微加工相结合的新技术,广泛应用于芯片电路修改、研磨、沉积和二次电子离子成像。扫描显像技术是FIB的重要功能,主要用于器件精密加工中,校正...
[期刊论文] 作者：彭志坚, 刘阳新, 张彬庭,,
来源：电子工业专用设备 年份：2009
将电力线载波通信技术与CPU卡技术相结合,设计了一款新型的预付费电能表。CDMA多址技术运用于自动抄表系统中,将CPU卡应用于电能表预付费管理系统中,解决了"表难"和"收费难"...
[期刊论文] 作者：龚杰洪,张彬庭,伍三忠,,
来源：电子工业专用设备 年份：2006
简述了现代集成电路制造工艺的发展状况，详细的介绍了制造工艺各技术节点离子注入工艺所面临的挑战及解决方案。...
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